2~6 လက်မ 4° off-angle P-type 4H-SiC အလွှာ

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

4° off-angle P-type 4H-SiC substrate သည် သီးခြား semiconductor material ဖြစ်ပြီး "4° off-angle" သည် wafer ၏ crystal orientation angle ကို 4 degree off-angle ဖြစ်ပြီး "P-type" ကို ရည်ညွှန်းပါသည်။ semiconductor ၏ conductivity အမျိုးအစား။ ဤပစ္စည်းသည် အထူးသဖြင့် ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်နှင့် ကြိမ်နှုန်းမြင့် အီလက်ထရွန်းနစ်နယ်ပယ်များတွင် အရေးကြီးသော အသုံးချပရိုဂရမ်များ ရှိသည်။

ကျွန်ုပ်တို့ထံ အီးမေးလ်ပို့ပါ။

ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ထုတ်ကုန်အမှတ်အသား

Semicera ၏ 2 ~ 6 လက်မ 4° off-angle P-type 4H-SiC အလွှာများသည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ပါဝါနှင့် RF စက်ပစ္စည်းထုတ်လုပ်သူများ၏ ကြီးထွားလာနေသော လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် တီထွင်ဖန်တီးထားပါသည်။ 4° off-angle orientation သည် အကောင်းမွန်ဆုံး epitaxial ကြီးထွားမှုကို သေချာစေပြီး၊ ၎င်းသည် MOSFETs၊ IGBTs နှင့် diodes အပါအဝင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းအမျိုးမျိုးအတွက် စံပြအခြေခံအုတ်မြစ်ဖြစ်စေသည်။

ဤ 2 ~ 6 လက်မ 4° off-angle P-type 4H-SiC အလွှာသည် မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှု၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော လျှပ်စစ်စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ထူးထူးခြားခြား စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တည်ငြိမ်မှုတို့ အပါအဝင် အလွန်ကောင်းမွန်သော ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများ ရှိပါသည်။ off-angle orientation သည် micropipe သိပ်သည်းဆကို လျှော့ချပေးပြီး နောက်ဆုံး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ စက်ပစ္စည်း၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို မြှင့်တင်ရန် အရေးကြီးသည့် ချောမွေ့သော epitaxial အလွှာများကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

Semicera ၏ 2 ~ 6 လက်မ 4° off-angle P-type 4H-SiC အလွှာများကို မတူညီသော ထုတ်လုပ်မှုလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် အချင်း 2 လက်မမှ 6 လက်မအထိ ရရှိနိုင်ပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ substrate များသည် တူညီသော doping အဆင့်များနှင့် အရည်အသွေးမြင့်သော မျက်နှာပြင်လက္ခဏာများပေးဆောင်ရန် တိကျစွာ အင်ဂျင်နီယာချုပ်ထားပြီး၊ wafer တစ်ခုစီသည် အဆင့်မြင့် အီလက်ထရွန်နစ်အပလီကေးရှင်းများအတွက် လိုအပ်သော တင်းကြပ်သောသတ်မှတ်ချက်များနှင့် ပြည့်မီကြောင်း သေချာစေပါသည်။

Semicera ၏ ဆန်းသစ်တီထွင်မှုနှင့် အရည်အသွေးအပေါ် ကတိကဝတ်များက ကျွန်ုပ်တို့၏ 2 ~ 6 လက်မ 4° off-angle P-type 4H-SiC အလွှာများသည် ပါဝါအီလက်ထရွန်နစ်ပစ္စည်းများမှ ကြိမ်နှုန်းမြင့်ကိရိယာများအထိ ကျယ်ပြန့်သော အသုံးချပရိုဂရမ်များတွင် တစ်သမတ်တည်း စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးစွမ်းနိုင်စေပါသည်။ ဤထုတ်ကုန်သည် မော်တော်ယာဥ်၊ တယ်လီဖုန်းဆက်သွယ်ရေးနှင့် ပြန်လည်ပြည့်ဖြိုးမြဲစွမ်းအင်ကဲ့သို့သော စက်မှုလုပ်ငန်းများတွင် နည်းပညာတိုးတက်မှုများကို ပံ့ပိုးပေးသည့် စွမ်းအင်သုံး၊ စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် semiconductors မျိုးဆက်သစ်များအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ဖြေရှင်းချက်တစ်ခု ပေးပါသည်။

အရွယ်အစားဆိုင်ရာ စံနှုန်းများ

အရွယ်အစား	2-လက်မ	4-လက်မ
လုံးပတ်	50.8 မီလီမီတာ ± 0.38 မီလီမီတာ	100.0 mm+0/-0.5 mm
Surface Orentation	4° ဆီသို့ <11-20>±0.5°	4° ဆီသို့ <11-20>±0.5°
မူလတန်းအလျား	16.0 မီလီမီတာ ± 1.5 မီလီမီတာ	32.5mm±2mm
Secondary Flat Length	8.0 မီလီမီတာ ± 1.5 မီလီမီတာ	18.0 မီလီမီတာ ± 2 မီလီမီတာ
Primary Flat Orientation	Parallelto <11-20>±5.0°	Parallelto<11-20>±5.0c
Secondary Flat Orientation	မူလ ± 5.0° မှ 90°CW၊ ဆီလီကွန် မျက်နှာ	မူလ ± 5.0° မှ 90°CW၊ ဆီလီကွန် မျက်နှာ
မျက်နှာပြင် အပြီးသတ်	C-Face- Optical Polish၊ Si-Face- CMP	C-Face-OpticalPolish၊ Si-Face- CMP
Wafer အစွန်း	Beveling	Beveling
မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းခြင်း။	Si-Face Ra<0.2 nm	Si-Face Ra<0.2nm
အထူ	350.0±25.0um	350.0±25.0um
Polytype	4H	4H
ဆေးသောက်ခြင်း။	p- ရိုက်ပါ။	p- ရိုက်ပါ။

အရွယ်အစားဆိုင်ရာ စံနှုန်းများ

အရွယ်အစား	6-လက်မ
လုံးပတ်	150.0 mm+0/-0.2 mm
Surface Orientation	4° ဆီသို့ <11-20>±0.5°
မူလတန်းအလျား	47.5 မီလီမီတာ ± 1.5 မီလီမီတာ
Secondary Flat Length	တစ်ခုမှ
Primary Flat Orientation	<11-20>±5.0° နှင့် အပြိုင်
SecondaryFlat Orientation	မူလ ± 5.0° မှ 90°CW၊ ဆီလီကွန် မျက်နှာစာ
မျက်နှာပြင် အပြီးသတ်	C-Face- Optical Polish၊ Si-Face-CMP
Wafer အစွန်း	Beveling
မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းခြင်း။	Si-Face Ra<0.2 nm
အထူ	350.0±25.0μm
Polytype	4H
ဆေးသောက်ခြင်း။	p- ရိုက်ပါ။