3C-SiC Wafer Substrate

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

Semicera 3C-SiC Wafer Substrates များသည် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းနှင့် မြင့်မားသော လျှပ်စစ်ပြိုကွဲမှုဗို့အားကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး ပါဝါအီလက်ထရွန်နစ်နှင့် ကြိမ်နှုန်းမြင့်စက်ပစ္စည်းများအတွက် စံပြဖြစ်သည်။ ဤအလွှာများသည် ခက်ခဲကြမ်းတမ်းသောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အကောင်းဆုံးစွမ်းဆောင်ရည်အတွက် တိကျသောအင်ဂျင်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့် ထိရောက်မှုကိုသေချာစေသည်။ ဆန်းသစ်ပြီး အဆင့်မြင့်ဖြေရှင်းချက်များအတွက် Semicera ကိုရွေးချယ်ပါ။


ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ထုတ်ကုန်အမှတ်အသား

Semicera 3C-SiC Wafer Substrates သည် မျိုးဆက်သစ် ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများနှင့် ကြိမ်နှုန်းမြင့်စက်ပစ္စည်းများအတွက် ခိုင်မာသောပလက်ဖောင်းတစ်ခု ပံ့ပိုးပေးရန်အတွက် တီထွင်ဖန်တီးထားပါသည်။ သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဓာတ်ဂုဏ်သတ္တိများနှင့် လျှပ်စစ်ဝိသေသလက္ခဏာများဖြင့်၊ ဤအလွှာများသည် ခေတ်မီနည်းပညာများ၏ လိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။

Semicera Wafer Substrates ၏ 3C-SiC (Cubic Silicon Carbide) ဖွဲ့စည်းပုံသည် ပိုမိုမြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့် အခြားတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းပစ္စည်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက အပူချဲ့ကိန်းပိုနည်းခြင်းအပါအဝင် ထူးခြားသောအားသာချက်များကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ၎င်းသည် အလွန်အမင်း အပူချိန်နှင့် ပါဝါမြင့်မားသော အခြေအနေများအောက်တွင် လည်ပတ်နေသော စက်များအတွက် အကောင်းဆုံး ရွေးချယ်မှုတစ်ခု ဖြစ်စေသည်။

မြင့်မားသောလျှပ်စစ်ပြိုကွဲမှုဗို့အားနှင့် သာလွန်ကောင်းမွန်သောဓာတုတည်ငြိမ်မှုနှင့်အတူ၊ Semicera 3C-SiC Wafer အလွှာများသည် ကြာရှည်ခံစွမ်းဆောင်မှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို အာမခံပါသည်။ ဤဂုဏ်သတ္တိများသည် စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုတွင် အရေးပါဆုံးဖြစ်သည့် ကြိမ်နှုန်းမြင့်ရေဒါ၊ Solid-state အလင်းရောင်နှင့် ပါဝါအင်ဗာတာများကဲ့သို့သော အသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် အရေးကြီးပါသည်။

Semicera ၏ အရည်အသွေးအပေါ် ကတိကဝတ်သည် ၎င်းတို့၏ 3C-SiC Wafer ဆပ်ပြာအလွှာများ၏ စေ့စပ်သေချာသည့် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ထင်ဟပ်နေပြီး အသုတ်တိုင်းတွင် တူညီမှုနှင့် ညီညွတ်မှုကို သေချာစေသည်။ ဤတိကျမှုသည် ၎င်းတို့ပေါ်တွင်တည်ဆောက်ထားသော အီလက်ထရွန်နစ်စက်ပစ္စည်းများ၏ အလုံးစုံစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် သက်တမ်းရှည်မှုကို အထောက်အကူဖြစ်စေသည်။

Semicera 3C-SiC Wafer Substrates ကိုရွေးချယ်ခြင်းဖြင့် ထုတ်လုပ်သူများသည် ပိုမိုသေးငယ်သော၊ ပိုမိုမြန်ဆန်ပြီး ပိုမိုထိရောက်သော အီလက်ထရွန်နစ်အစိတ်အပိုင်းများကို တီထွင်ဖန်တီးနိုင်စေမည့် နောက်ဆုံးပေါ်ပစ္စည်းများကို ထုတ်လုပ်သူများထံ ရရှိနိုင်မည်ဖြစ်သည်။ Semicera သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်း၏ တိုးတက်ပြောင်းလဲနေသော တောင်းဆိုချက်များကို ဖြည့်ဆည်းပေးသည့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော ဖြေရှင်းနည်းများကို ပံ့ပိုးပေးခြင်းဖြင့် နည်းပညာဆန်းသစ်တီထွင်မှုကို ဆက်လက်ပံ့ပိုးပေးပါသည်။

ပစ္စည်းများ

ထုတ်လုပ်မှု

သုတေသန

Dummy

Crystal Parameters

Polytype

4H

မျက်နှာပြင် တိမ်းညွှတ်မှု အမှား

<11-20 >4±0.15°

လျှပ်စစ်ဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များ

Dopant

n-နိုက်ထရိုဂျင်အမျိုးအစား

ခုခံနိုင်စွမ်း

0.015-0.025ohm·cm

စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များ

လုံးပတ်

150.0±0.2mm

အထူ

350±25 μm

မူလတန်းပြန့်ပြူးသော တိမ်းညွှတ်မှု

[1-100]±5°

မူလတန်းအလျား

47.5±1.5mm

အလယ်တန်းတိုက်ခန်း

တစ်ခုမှ

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

ဦးညွှတ်

-15μm ~ 15μm

-35μm~35μm

-45μm~45μm

ရုန်းသည်။

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

ရှေ့မျက်နှာစာ (Si-face) ကြမ်းတမ်းမှု (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

ဖွဲ့စည်းပုံ

Micropipe သိပ်သည်းဆ

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

သတ္တုအညစ်အကြေး

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

ရှေ့အရည်အသွေး

ရှေ့

Si

မျက်နှာပြင်အချော

Si-face CMP

မှုန်

≤60ea/wafer (size≥0.3μm)

NA

ခြစ်ရာ

≤5ea/mm စုပြုံအရှည် ≤ အချင်း

စုပြုံအလျား≤2*အချင်း

NA

လိမ္မော်ခွံ/ကျင်း/အစွန်းအထင်း/အစွန်းအထင်း/ကွဲအက်/ညစ်ညမ်းခြင်း။

တစ်ခုမှ

NA

အစွန်းချစ်ပ်များ/အင်တင်းများ/အရိုးကျိုး/ hex ပြားများ

တစ်ခုမှ

Polytype နေရာများ

တစ်ခုမှ

စုပေါင်းဧရိယာ≤20%

စုပေါင်းဧရိယာ≤30%

ရှေ့လေဆာအမှတ်အသား

တစ်ခုမှ

နောက်ကျောအရည်အသွေး

ပြီးပါပြီဗျာ။

C-မျက်နှာ CMP

ခြစ်ရာ

≤5ea/mm၊စုပြုံအလျား≤2*အချင်း

NA

နောက်ကျော ချို့ယွင်းချက်များ (အနားသတ်ချပ်များ/အင်တင်းများ)

တစ်ခုမှ

နောက်ကျောကြမ်းတမ်းခြင်း။

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

နောက်ကျောလေဆာအမှတ်အသား

1 မီလီမီတာ (အပေါ်ဘက်အစွန်းမှ)

အစွန်း

အစွန်း

ချမ်ဖာ

များပါတယ်။

များပါတယ်။

ဖုန်စုပ်ထုပ်ပိုးမှုနှင့်အတူ Epi-အဆင်သင့်

Multi-wafer ကက်ဆက်ထုပ်ပိုး

*မှတ်ချက်- "NA" ဆိုသည်မှာ SEMI-STD ကို ရည်ညွှန်းဖော်ပြခြင်းမပြုသည့်အရာများကို တောင်းဆိုခြင်းမရှိပါ။

နည်းပညာ_1_2_အရွယ်အစား
SiC wafers

  • ယခင်-
  • နောက်တစ်ခု: