8 Inch N-type SiC Wafer

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

Semicera ၏ 8 Inch N-type SiC Wafers များသည် ပါဝါမြင့်မားပြီး ကြိမ်နှုန်းမြင့်မားသော အီလက်ထရွန်နစ်ပစ္စည်းများတွင် နောက်ဆုံးပေါ် အပလီကေးရှင်းများအတွက် တီထွင်ဖန်တီးထားသည်။ ဤ wafers များသည် သာလွန်ကောင်းမွန်သော လျှပ်စစ်နှင့် အပူဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများကို ပေးစွမ်းပြီး လိုအပ်ချက်ရှိသော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ထိရောက်သော စွမ်းဆောင်ရည်ကို အာမခံပါသည်။ Semicera သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများအတွက် ဆန်းသစ်တီထွင်မှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို ပေးဆောင်သည်။


ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ကုန်ပစ္စည်း တံဆိပ်များ

Semicera ၏ 8 Inch N-type SiC Wafers များသည် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အီလက်ထရွန်နစ်ကိရိယာများ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုအတွက် ခိုင်မာသောအခြေခံကို ပံ့ပိုးပေးသည့် semiconductor ဆန်းသစ်တီထွင်မှု၏ ရှေ့တန်းမှဖြစ်သည်။ ဤ wafer များသည် ပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများမှ ကြိမ်နှုန်းမြင့် ဆားကစ်များအထိ ခေတ်မီ အီလက်ထရွန်နစ် အသုံးချပရိုဂရမ်များ၏ ပြင်းထန်သော တောင်းဆိုချက်များကို ဖြည့်ဆည်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။

ဤ SiC wafer များတွင် N-type doping သည် ၎င်းတို့၏ လျှပ်စစ်စီးကူးမှုကို မြှင့်တင်ပေးကာ ပါဝါဒိုင်အိုဒ၊ ထရန်စစ္စတာများနှင့် အသံချဲ့စက်များအပါအဝင် ကျယ်ပြန့်သော applications များအတွက် စံပြဖြစ်စေသည်။ သာလွန်ကောင်းမွန်သော လျှပ်ကူးနိုင်စွမ်းသည် ကြိမ်နှုန်းနှင့် ပါဝါအဆင့်မြင့်သော စက်ပစ္စည်းများအတွက် အရေးကြီးသော စွမ်းအင်ဆုံးရှုံးမှု အနည်းဆုံးနှင့် ထိရောက်သောလည်ပတ်မှုကို သေချာစေသည်။

Semicera သည် ထူးခြားသောမျက်နှာပြင်တူညီမှုနှင့် ချို့ယွင်းချက်အနည်းငယ်ရှိသော SiC wafer ကိုထုတ်လုပ်ရန် အဆင့်မြင့်ကုန်ထုတ်လုပ်မှုနည်းပညာများကို အသုံးပြုထားသည်။ ဤတိကျမှုအဆင့်သည် အာကာသယာဉ်၊ မော်တော်ယာဥ်နှင့် တယ်လီဖုန်းဆက်သွယ်ရေးစက်မှုလုပ်ငန်းများကဲ့သို့သော တသမတ်တည်း စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှု လိုအပ်သော အပလီကေးရှင်းများအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။

Semicera ၏ 8 Inch N-type SiC Wafers များကို သင့်ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းတွင် ပေါင်းစပ်ထည့်သွင်းခြင်းသည် ကြမ်းတမ်းသောပတ်ဝန်းကျင်နှင့် မြင့်မားသောအပူချိန်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော အစိတ်အပိုင်းများဖန်တီးရန်အတွက် အခြေခံအုတ်မြစ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤ wafers များသည် ပါဝါကူးပြောင်းခြင်း၊ RF နည်းပညာနှင့် အခြားလိုအပ်သောနယ်ပယ်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ပြီးပြည့်စုံပါသည်။

Semicera ၏ 8 Inch N-type SiC Wafers ကိုရွေးချယ်ခြင်းသည် အရည်အသွေးမြင့်ပစ္စည်းသိပ္ပံနှင့် တိကျသောအင်ဂျင်နီယာနှင့် ပေါင်းစပ်ထားသည့် ထုတ်ကုန်တစ်ခုတွင် ရင်းနှီးမြှုပ်နှံခြင်းဖြစ်သည်။ Semicera သည် သင့်အီလက်ထရွန်နစ်ကိရိယာများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို မြှင့်တင်ပေးသည့် ဖြေရှင်းချက်များအား ပေးဆောင်ကာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနည်းပညာများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ရန် ကတိပြုပါသည်။

ပစ္စည်းများ

ထုတ်လုပ်မှု

သုတေသန

Dummy

Crystal Parameters

Polytype

4H

မျက်နှာပြင် တိမ်းညွှတ်မှု အမှား

<11-20 >4±0.15°

လျှပ်စစ်ဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များ

Dopant

n-နိုက်ထရိုဂျင်အမျိုးအစား

ခုခံနိုင်စွမ်း

0.015-0.025ohm·cm

စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များ

လုံးပတ်

150.0±0.2mm

အထူ

350±25 μm

မူလတန်းပြန့်ပြူးသော တိမ်းညွှတ်မှု

[1-100]±5°

မူလတန်းအလျား

47.5±1.5mm

အလယ်တန်းတိုက်ခန်း

တစ်ခုမှ

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

ဦးညွှတ်

-15μm ~ 15μm

-35μm~35μm

-45μm~45μm

ရုန်းသည်။

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

ရှေ့မျက်နှာစာ (Si-face) ကြမ်းတမ်းမှု (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

ဖွဲ့စည်းပုံ

Micropipe သိပ်သည်းဆ

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

သတ္တုအညစ်အကြေး

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

ရှေ့အရည်အသွေး

ရှေ့

Si

မျက်နှာပြင်အချော

Si-face CMP

မှုန်

≤60ea/wafer (size≥0.3μm)

NA

ခြစ်ရာ

≤5ea/mm စုပြုံအရှည် ≤ အချင်း

စုပြုံအလျား≤2*အချင်း

NA

လိမ္မော်ခွံ/ကျင်း/အစွန်းအထင်း/အစွန်းအထင်း/ကွဲအက်/ညစ်ညမ်းခြင်း။

တစ်ခုမှ

NA

အစွန်းချစ်ပ်များ/အင်တင်းများ/အရိုးကျိုး/ hex ပြားများ

တစ်ခုမှ

Polytype နေရာများ

တစ်ခုမှ

စုပေါင်းဧရိယာ≤20%

စုပေါင်းဧရိယာ≤30%

ရှေ့လေဆာအမှတ်အသား

တစ်ခုမှ

နောက်ကျောအရည်အသွေး

ပြီးပါပြီဗျာ။

C-မျက်နှာ CMP

ခြစ်ရာ

≤5ea/mm၊စုပြုံအလျား≤2*အချင်း

NA

နောက်ကျော ချို့ယွင်းချက်များ (အနားသတ်ချပ်များ/အင်တင်းများ)

တစ်ခုမှ

နောက်ကျောကြမ်းတမ်းခြင်း။

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

နောက်ကျောလေဆာအမှတ်အသား

1 မီလီမီတာ (အပေါ်ဘက်အစွန်းမှ)

အစွန်း

အစွန်း

ချမ်ဖာ

များပါတယ်။

များပါတယ်။

ဖုန်စုပ်ထုပ်ပိုးမှုနှင့်အတူ Epi-အဆင်သင့်

Multi-wafer ကက်ဆက်ထုပ်ပိုး

*မှတ်ချက်- "NA" ဆိုသည်မှာ SEMI-STD ကို ရည်ညွှန်းဖော်ပြခြင်းမပြုသည့်အရာများကို တောင်းဆိုခြင်းမရှိပါ။

နည်းပညာ_1_2_အရွယ်အစား
SiC wafers

  • ယခင်-
  • နောက်တစ်ခု: