RTPCVD SiC ကွင်းမြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် သံချေးတက်သောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် စက်မှုနှင့် သိပ္ပံပညာနယ်ပယ်များတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။ ၎င်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်း၊ optoelectronics၊ တိကျသောစက်ယန္တရားများနှင့် ဓာတုဗေဒစက်မှုလုပ်ငန်းတို့တွင် အရေးကြီးသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ တိကျသောလျှောက်လွှာများတွင်-
1. Semiconductor ထုတ်လုပ်မှု-RTP CVD SiC ကွင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများ၏ အပူပေးခြင်းနှင့် အအေးပေးခြင်းအတွက် တည်ငြိမ်သောအပူချိန်ကို ထိန်းချုပ်ပေးကာ လုပ်ငန်းစဉ်၏ တိကျမှုနှင့် လိုက်လျောညီထွေရှိမှုတို့ကို သေချာစေရန်အတွက် အသုံးပြုနိုင်သည်။
2. Optoelectronics - ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးမှုနှင့် အပူချိန်မြင့်မားသော ခုခံနိုင်မှုတို့ကြောင့် RTPCVD SiC ကွင်းလေဆာများ၊ fiber optic ဆက်သွယ်ရေးကိရိယာများနှင့် optical အစိတ်အပိုင်းများအတွက် အထောက်အပံ့နှင့် အပူကို စွန့်ပစ်ပစ္စည်းများအဖြစ် အသုံးပြုနိုင်သည်။
3. တိကျသောစက်ယန္တရား- RTP CVD SiC ကွင်းများကို အပူချိန်မြင့်မီးဖိုများ၊ ဖုန်စုပ်စက်များနှင့် ဓာတုဓာတ်ပေါင်းဖိုများကဲ့သို့သော မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် အဆိပ်သင့်သောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် တိကျသောတူရိယာများနှင့် စက်ကိရိယာများအတွက် အသုံးပြုနိုင်ပါသည်။
4. ဓာတုဗေဒစက်မှုလုပ်ငန်း- ၎င်း၏ ချေးခံနိုင်ရည်နှင့် ဓာတုတည်ငြိမ်မှုတို့ကြောင့် RTP CVD SiC ကွင်းများကို ဓာတုတုံ့ပြန်မှုများနှင့် ဓာတ်ပြုခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ကွန်တိန်နာများ၊ ပိုက်များနှင့် ဓာတ်ပေါင်းဖိုများတွင် အသုံးပြုနိုင်သည်။
Epi စနစ်
RTP စနစ်
CVD စနစ်
ထုတ်ကုန်စွမ်းဆောင်ရည်-
1. 28nm အောက်ရှိ လုပ်ငန်းစဉ်ကို တွေ့ဆုံပါ။
2. စူပါချေးခုခံ
3. အလွန်သန့်ရှင်းသောစွမ်းဆောင်ရည်
4. စူပါမာကျော
5. မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆ
6. မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံ
7. ဝတ်ဆင်ခုခံ
ထုတ်ကုန်လျှောက်လွှာ-
ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းများသည် မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ ချေးခံနိုင်ရည်နှင့် မြင့်မားသော အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုတို့၏ ဝိသေသလက္ခဏာများရှိသည်။ အလွန်ကောင်းမွန်သော ပြီးပြည့်စုံသော စွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော ထုတ်ကုန်များကို ခြောက်သွေ့သော etching နှင့် TF/Diffusion လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုပါသည်။
ထုတ်ကုန်စွမ်းဆောင်ရည်-
1. 28nm အောက်ရှိ လုပ်ငန်းစဉ်ကို တွေ့ဆုံပါ။
2. စူပါချေးခုခံ
3. အလွန်သန့်ရှင်းသောစွမ်းဆောင်ရည်
4. စူပါမာကျော
5. မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆ
6. မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံ
7. ဝတ်ဆင်ခုခံ
ပေါင်းစပ်လုပ်ငန်းစဉ် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှု-
Graphite + Sic Coating
Solide CvD sic
Sintered SiC+CVD
SicSintered SiC
ထုတ်ကုန်အမျိုးအစား အများအပြား ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှု-
လက်စွပ်
စားပွဲ
သည်းခံသည်။
ရေချိုးခေါင်း