Silicon Carbide Coating မိတ်ဆက်
ကျွန်ုပ်တို့၏ Chemical Vapor Deposition (CVD) Silicon Carbide (SiC) coating သည် အလွန်အကြမ်းခံပြီး ခံနိုင်ရည်ရှိသော အလွှာတစ်ခုဖြစ်ပြီး သံချေးတက်ခြင်းနှင့် အပူဒဏ်ခံနိုင်မှုမြင့်မားသော ပတ်ဝန်းကျင်အတွက် စံပြဖြစ်သည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာCVD လုပ်ငန်းစဉ်မှတဆင့် အမျိုးမျိုးသော အလွှာများတွင် အလွှာပါးလွှာသောအလွှာများတွင် အသုံးချပြီး သာလွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်လက္ခဏာများကို ပေးဆောင်သည်။
အဓိကအင်္ဂါရပ်များ
● -Exceptional Purity: အလွန်သန့်စင်သောဖွဲ့စည်းမှုကို ဂုဏ်ယူပါသည်။99.99995%ကျွန်တော်တို့ရဲ့SiC အပေါ်ယံပိုင်းထိလွယ်ရှလွယ် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာ လုပ်ငန်းများတွင် ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်ကို လျှော့ချပေးသည်။
● -Superior Resistance: ဓာတုနှင့် ပလာစမာဆက်တင်များကို စိန်ခေါ်ရန်အတွက် ပြီးပြည့်စုံသော ခံနိုင်ရည်ရှိသော ဝတ်ဆင်မှုနှင့် သံချေးတက်မှုနှစ်ခုစလုံးကို ပြသထားသည်။
● -High Thermal Conductivity: ၎င်း၏ထူးခြားသောအပူဂုဏ်သတ္တိကြောင့် လွန်ကဲသောအပူချိန်အောက်တွင် ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်ကိုအာမခံပါသည်။
● -Dimensional Stability: ၎င်း၏ အပူချိန် ချဲ့ထွင်မှု နိမ့်ကျသော ဖော်ကိန်းကြောင့် ကျယ်ပြန့်သော အပူချိန်များတစ်လျှောက် ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ သမာဓိကို ထိန်းသိမ်းသည်။
● -Enhanced Hardness: မာကျောမှုအဆင့်သတ်မှတ်ချက်နှင့်အတူ40 GPaကျွန်ုပ်တို့၏ SiC အပေါ်ယံပိုင်းသည် သိသာထင်ရှားသော ထိခိုက်မှုနှင့် ပွန်းပဲ့မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
● -Smooth Surface Finish: အမှုန်အမွှားထုတ်လုပ်ခြင်းကို လျှော့ချပေးပြီး လည်ပတ်မှုစွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
အသုံးချမှု
Semicera SiC အပေါ်ယံပိုင်းဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ခြင်း၏ အဆင့်အမျိုးမျိုးတွင် အသုံးပြုကြသည်၊
● -LED Chip ထုတ်လုပ်ခြင်း။
● -ပိုလီစီလီကွန်ထုတ်လုပ်မှု
● -Semiconductor Crystal Growth
● -ဆီလီကွန်နှင့် SiC Epitaxy
● -အပူဓာတ်တိုးခြင်းနှင့် ပျံ့နှံ့ခြင်း (TO&D)
ကျွန်ုပ်တို့သည် စွမ်းအားမြင့် isostatic ဂရက်ဖိုက်၊ ကာဗွန်ဖိုက်ဘာအားဖြည့်ကာဗွန်နှင့် 4N လျှပ်စစ်ဓာတ်ပေါင်းဖိုများအတွက် အံဝင်ခွင်ကျဖြစ်သော SiC-coated အစိတ်အပိုင်းများကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။STC-TCS ပြောင်းစက်များ၊ CZ ယူနစ်ရောင်ပြန်စနစ်များ၊ SiC wafer လှေများ၊ SiCwafer လှော်တက်များ၊ SiC wafer tube နှင့် PECVD၊ ဆီလီကွန် epitaxy၊ MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုသည့် wafer carriers.
အကျိုးကျေးဇူးများ
● -Extended Lifespan: စက်ကိရိယာများ စက်ရပ်ချိန်နှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုစရိတ်တို့ကို သိသိသာသာ လျှော့ချပေးကာ အလုံးစုံထုတ်လုပ်မှု စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးသည်။
● -Improved အရည်အသွေး: ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် လိုအပ်သော သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော မျက်နှာပြင်များကို ရရှိစေပြီး ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
● - စွမ်းဆောင်ရည် တိုးမြှင့်ခြင်း။: အပူနှင့် CVD လုပ်ငန်းစဉ်များကို ပိုကောင်းအောင်ပြုလုပ်ပြီး လည်ပတ်ချိန်တိုတိုနှင့် အထွက်နှုန်းပိုမိုမြင့်မားစေသည်။
နည်းပညာဆိုင်ရာသတ်မှတ်ချက်များ
● -Structure: FCC beta အဆင့် polycrystaline၊ အဓိကအားဖြင့် (111) ကို ဦးတည်သည်။
● -Density: 3.21 g/cm³
● -Hardness: 2500 Vickes မာကျောမှု (500 ဂရမ်)
● -Fracture Toughness: 3.0 MPa·m၁/၂
● -Thermal Expansion Coefficient (100–600°C): 4.3 x 10-6k-1
● -Elastic Modulus(1300 ℃):၄၃၅ ဂျီပီ
● -Typical Film Thickness:100 µm
● -Surface Roughness:၂-၁၀ µm
သန့်ရှင်းမှုဒေတာ (Glow Discharge Mass Spectroscopy ဖြင့် တိုင်းတာသည်)
| ဒြပ် | ppm | ဒြပ် | ppm |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| အယ်လ် | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
