Semicera မှ ဂုဏ်ယူစွာဖြင့် တင်ပြအပ်ပါသည်။Ga2O3အလွှာပါဝါအီလက်ထရွန်းနစ်နှင့် optoelectronics တို့ကို တော်လှန်ရန် အသင့်ရှိနေသည့် နောက်ဆုံးပေါ်ပစ္စည်းဖြစ်သည်။Gallium Oxide (ဂါ2O3) အလွှာ၎င်းတို့၏ အလွန်ကျယ်ဝန်းသော bandgap ကြောင့် လူသိများပြီး ၎င်းတို့ကို ပါဝါမြင့်ပြီး ကြိမ်နှုန်းမြင့်သည့် စက်များအတွက် စံပြဖြစ်စေသည်။
အဓိကအင်္ဂါရပ်များ-
• Ultra-Wide Bandgap- Ga2O3 သည် ခန့်မှန်းခြေအားဖြင့် 4.8 eV bandgap ကို ပေးဆောင်ထားပြီး Silicon နှင့် GaN ကဲ့သို့သော သမားရိုးကျပစ္စည်းများထက် မြင့်မားသောဗို့အားများနှင့် အပူချိန်များကို ကိုင်တွယ်နိုင်စွမ်းကို သိသိသာသာ မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
• High Breakdown Voltage- ထူးခြားသောခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုအကွက်နှင့်အတူ၊Ga2O3အလွှာပိုမိုထိရောက်မှုနှင့်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကိုသေချာစေရန်ဗို့အားမြင့်လည်ပတ်မှုလိုအပ်သောကိရိယာများအတွက်စုံလင်သည်။
• အပူခံတည်ငြိမ်မှု- ပစ္စည်း၏ သာလွန်ကောင်းမွန်သောအပူတည်ငြိမ်မှုသည် ပြင်းထန်သောအခြေအနေများတွင်ပင် စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိန်းသိမ်းထားပြီး ပြင်းထန်သောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် သင့်လျော်စေသည်။
• ဘက်စုံသုံး အက်ပ်များ- စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ပါဝါထရန်စစ္စတာများ၊ UV optoelectronic ကိရိယာများနှင့် အခြားအရာများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်ပြီး အဆင့်မြင့် အီလက်ထရွန်နစ်စနစ်များအတွက် ခိုင်မာသော အခြေခံအုတ်မြစ်ကို ပေးဆောင်သည်။
Semicera's ဖြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနည်းပညာ၏ အနာဂတ်ကို ခံစားလိုက်ပါ။Ga2O3အလွှာ. မြင့်မားသော ပါဝါနှင့် ကြိမ်နှုန်းမြင့် အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ၏ ကြီးထွားလာနေသော တောင်းဆိုမှုများကို ဖြည့်ဆည်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် ဤအလွှာသည် စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုအတွက် စံအသစ်တစ်ခု သတ်မှတ်ပေးပါသည်။ သင်၏စိန်ခေါ်မှုအရှိဆုံးအက်ပ်လီကေးရှင်းများအတွက် ဆန်းသစ်ဆန်းသစ်သောဖြေရှင်းချက်များကို ပေးအပ်ရန် Semicera ကို ယုံကြည်ပါ။
| ပစ္စည်းများ | ထုတ်လုပ်မှု | သုတေသန | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| မျက်နှာပြင် တိမ်းညွှတ်မှု အမှား | <11-20 >4±0.15° | ||
| လျှပ်စစ်ဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များ | |||
| Dopant | n-နိုက်ထရိုဂျင်အမျိုးအစား | ||
| ခုခံနိုင်စွမ်း | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကန့်သတ်ချက်များ | |||
| လုံးပတ် | 150.0±0.2mm | ||
| အထူ | 350±25 μm | ||
| မူလတန်းပြန့်ပြူးသော တိမ်းညွှတ်မှု | [1-100]±5° | ||
| မူလတန်းအလျား | 47.5±1.5mm | ||
| အလယ်တန်းတိုက်ခန်း | တစ်ခုမှ | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| ဦးညွှတ် | -15μm ~ 15μm | -35μm~35μm | -45μm~45μm |
| ရုန်းသည်။ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| ရှေ့မျက်နှာစာ (Si-face) ကြမ်းတမ်းမှု (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ဖွဲ့စည်းပုံ | |||
| Micropipe သိပ်သည်းဆ | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| သတ္တုအညစ်အကြေး | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| ရှေ့အရည်အသွေး | |||
| ရှေ့ | Si | ||
| မျက်နှာပြင်အချော | Si-face CMP | ||
| မှုန် | ≤60ea/wafer (size≥0.3μm) | NA | |
| ခြစ်ရာ | ≤5ea/mm စုပြုံအရှည် ≤ အချင်း | စုပြုံအလျား≤2*အချင်း | NA |
| လိမ္မော်ခွံ/ကျင်း/အစွန်းအထင်း/အစွန်းအထင်း/ကွဲအက်/ညစ်ညမ်းခြင်း။ | တစ်ခုမှ | NA | |
| အစွန်းချစ်ပ်များ/အင်တင်းများ/အရိုးကျိုး/ hex ပြားများ | တစ်ခုမှ | ||
| Polytype နေရာများ | တစ်ခုမှ | စုပေါင်းဧရိယာ≤20% | စုပေါင်းဧရိယာ≤30% |
| ရှေ့လေဆာအမှတ်အသား | တစ်ခုမှ | ||
| နောက်ကျောအရည်အသွေး | |||
| ပြီးပါပြီဗျာ။ | C-မျက်နှာ CMP | ||
| ခြစ်ရာ | ≤5ea/mm၊စုပြုံအလျား≤2*အချင်း | NA | |
| နောက်ကျော ချို့ယွင်းချက်များ (အနားသတ်ချပ်များ/အင်တင်းများ) | တစ်ခုမှ | ||
| နောက်ကျောကြမ်းတမ်းခြင်း။ | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| နောက်ကျောလေဆာအမှတ်အသား | 1 မီလီမီတာ (အပေါ်ဘက်အစွန်းမှ) | ||
| အစွန်း | |||
| အစွန်း | ချမ်ဖာ | ||
| များပါတယ်။ | |||
| များပါတယ်။ | ဖုန်စုပ်ထုပ်ပိုးမှုနှင့်အတူ Epi-အဆင်သင့် Multi-wafer ကက်ဆက်ထုပ်ပိုး | ||
| *မှတ်ချက်- "NA" ဆိုသည်မှာ SEMI-STD ကို ရည်ညွှန်းဖော်ပြခြင်းမပြုသည့်အရာများကို တောင်းဆိုခြင်းမရှိပါ။ | |||
