Gallium Nitride အလွှာ|GaN Wafers

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

Gallium nitride (GaN) သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ပစ္စည်းများကဲ့သို့ ကျယ်ပြန့်သော band gap width ရှိသော semiconductor ပစ္စည်းများ၊ ကြီးမားသော band gap width၊ thermal conductivity မြင့်မားသော၊ high electron saturation migration rate နှင့် high breakdown electric field တို့၏ ထူးခြားချက် လက္ခဏာများ။GaN စက်ပစ္စည်းများတွင် LED စွမ်းအင်ချွေတာသောအလင်းရောင်၊ လေဆာပြကွက်ပြသမှု၊ စွမ်းအင်သုံးယာဉ်အသစ်များ၊ စမတ်ဂရစ်၊ 5G ဆက်သွယ်ရေးစသည့် မြင့်မားသောကြိမ်နှုန်း၊ မြန်နှုန်းမြင့်နှင့် ပါဝါလိုအပ်ချက်မြင့်မားသောနယ်ပယ်များတွင် ကျယ်ပြန့်သောလျှောက်လွှာအလားအလာများရှိသည်။


ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ထုတ်ကုန်အမှတ်အသား

GaN Wafers

တတိယမျိုးဆက် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများတွင် အဓိကအားဖြင့် SiC၊ GaN၊ စိန်စသည်တို့ပါဝင်သည်၊ အကြောင်းမှာ ၎င်း၏ band gap width (Eg) သည် 2.3 electron volts (eV) ထက်ကြီးသော သို့မဟုတ် ညီမျှသောကြောင့်၊ wide band gap semiconductor ပစ္စည်းများဟုလည်းသိကြသည်။ ပထမမျိုးဆက်နှင့် ဒုတိယမျိုးဆက် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက တတိယမျိုးဆက် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများသည် မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှု၊ ပြိုကွဲမှုမြင့်မားသော လျှပ်စစ်စက်ကွင်း၊ ပြည့်ဝသောအီလက်ထရွန်ရွှေ့ပြောင်းမှုနှုန်းနှင့် မြင့်မားသောနှောင်ကြိုးစွမ်းအင်တို့ ရှိပြီး ခေတ်မီအီလက်ထရွန်နစ်နည်းပညာ၏ လိုအပ်ချက်အသစ်များကို မြင့်မားစွာဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်သည့် အားသာချက်များရှိသည်။ အပူချိန်၊ ပါဝါမြင့်မားမှု၊ ဖိအားမြင့်မားမှု၊ ကြိမ်နှုန်းမြင့်မားမှုနှင့် ဓာတ်ရောင်ခြည်ခံနိုင်ရည်နှင့် အခြားကြမ်းတမ်းသော အခြေအနေများ။ နိုင်ငံတော် ကာကွယ်ရေး၊ လေကြောင်း၊ အာကာသ၊ ရေနံရှာဖွေရေး၊ အလင်းကြည့် သိုလှောင်မှု အစရှိသည့် နယ်ပယ်များတွင် အရေးကြီးသော အသုံးချမှု အလားအလာများ ရှိပြီး မဟာဗျူဟာမြောက် စက်မှုလုပ်ငန်း အများအပြား ဖြစ်သည့် ဘရော့ဘန်း ဆက်သွယ်ရေး၊ နေစွမ်းအင်၊ မော်တော်ကား ထုတ်လုပ်ရေး၊ semiconductor lighting နှင့် smart grid တို့သည် လူ့သိပ္ပံနှင့်နည်းပညာဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုအတွက် မှတ်တိုင်တစ်ခုဖြစ်သည့် စက်ပစ္စည်းများ၏ ထုထည်ပမာဏကို 75% ထက်ပို၍ လျှော့ချနိုင်သည်။

 

项目 ပစ္စည်း

GaN-FS-CU-C50

GaN-FS-CN-C50

GaN-FS-C-SI-C50

လုံးပတ်
晶圆直径

50.8 ± 1 မီလီမီတာ

အထူ厚度

350 ± 25 μm

တိမ်းညွှတ်မှု
晶向

C လေယာဉ် (0001) M-ဝင်ရိုးဆီသို့ 0.35 ± 0.15°

တိုက်ခန်းချုပ်
主定位边

(1-100) 0 ± 0.5°, 16 ± 1 မီလီမီတာ

အလယ်တန်းတိုက်ခန်း
次定位边

(11-20) 0 ± 3°, 8 ± 1 မီလီမီတာ

လျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း
导电性

N အမျိုးအစား

N အမျိုးအစား

Semi-Insulating

ခုခံနိုင်စွမ်း (300K)
电阻率

< 0.1 Ω·စင်တီမီတာ

< 0.05 Ω·စင်တီမီတာ

> 106 Ω·စင်တီမီတာ

TTV
平整度

≤ 15 μm

ညွှတ်
弯曲度

≤ 20 μm

Ga မျက်နှာ မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းခြင်း။
Ga面粗糙度

< 0.2 nm (ပွတ်);

သို့မဟုတ် < 0.3 nm ( epitaxy အတွက် ပွတ်ဆေးနှင့် မျက်နှာပြင် ကုသမှု)

N မျက်နှာမျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းခြင်း။
N面粗糙度

0.5 ~ 1.5 μm

ရွေးချယ်မှု- 1 ~ 3 nm (မြေကောင်း); < 0.2 nm (ပွတ်တိုက်)

Dislocation Density
位错密度

1 x 105 မှ 3 x 106 cm-2 (CL ဖြင့် တွက်ချက်သည်)*

Macro Defect Density
缺陷密度

< 2 စင်တီမီတာ-2

အသုံးပြုနိုင်သောဧရိယာ
有效面积

> 90% (အနားသတ်နှင့် မက်ခရိုချို့ယွင်းချက်များကို ဖယ်ထုတ်ခြင်း)

ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်များ၊ ဆီလီကွန်၊ နီလာ၊ SiC အခြေပြု GaN epitaxial စာရွက်၏ ကွဲပြားခြားနားသောဖွဲ့စည်းပုံနှင့်အညီ စိတ်ကြိုက်ပြုလုပ်နိုင်ပါသည်။

Semicera အလုပ်နေရာ Semicera အလုပ်နေရာ ၂ စက်ကိရိယာ CNN လုပ်ဆောင်ခြင်း၊ ဓာတုသန့်ရှင်းရေး၊ CVD အပေါ်ယံပိုင်း ကျွန်ုပ်တို့၏ဝန်ဆောင်မှု


  • ယခင်-
  • နောက်တစ်ခု: