မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော SiC Carrier/Susceptor

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ဝက်ဝံဒစ်ကို SIC ဗန်း၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အချပ်ပြား၊ ICP etching disc ဟုခေါ်သည်။ LED etching အတွက် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ဗန်း (SiC ဗန်း) φ600mm သည် နက်ရှိုင်းသော ဆီလီကွန် etching (ICP etching machine) အတွက် အထူး ဆက်စပ်ပစ္စည်း တစ်ခု ဖြစ်သည်။

ကျွန်ုပ်တို့ထံ အီးမေးလ်ပို့ပါ။

ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ထုတ်ကုန်အမှတ်အသား

ဖော်ပြချက်

ဆီလီကွန်ကာဘိုင် ကြွေထည်များသည် အခန်းအပူချိန်တွင် အစွမ်းထက်သော၊ မာကျောမှုမြင့်မားသော၊ မြင့်မားသော elastic modulus၊ စသည်တို့ကဲ့သို့ အခန်းအပူချိန်တွင် ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ ရှိပြီး ၎င်းသည် အပူစီးကူးနိုင်မှု၊ နိမ့်သော အပူချဲ့ကိန်းနှင့် တိကျသော တင်းမာမှုနှင့် အလင်းပြန်မှုတို့ကဲ့သို့ ကောင်းမွန်သော အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုလည်း ရှိသည်။ processing စွမ်းဆောင်ရည်။
၎င်းတို့သည် SiC carrier/susceptor၊ SiC wafer boat၊ sucking disc၊ water cooling plate၊ precision measuring reflector၊ grating နှင့် အခြားသော ceramic structural အစိတ်အပိုင်းများ ထုတ်လုပ်ရန် အဓိကအသုံးပြုသည့် ပေါင်းစပ် circuit ပစ္စည်းများဖြစ်သည့် lithography စက်များအတွက် တိကျသော ကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများ ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အထူးသင့်လျော်ပါသည်။

သယ်ဆောင်သူ ၂

ဝန်ဆောင်မှုပေးသူ ၃

သယ်ဆောင်သူ ၄

အားသာချက်များ

မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံမှု - 1800 ℃တွင်ပုံမှန်အသုံးပြုခြင်း။
မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှု- ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းနှင့်ညီမျှသည်။
မြင့်မားသော မာကျောမှု- စိန်၊ ဘိုရွန်နိုက်ထရိတ်ပြီးလျှင် ဒုတိယ မာကျောမှု
သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်- ခိုင်မာသောအက်ဆစ်နှင့်အယ်လကာလီများသည်၎င်းကိုတိုက်စားမှုမရှိပါ၊ ချေးခံနိုင်ရည်သည် tungsten carbide နှင့် alumina ထက်ပိုမိုကောင်းမွန်သည်
ပေါ့ပါးသော အလေးချိန်- သိပ်သည်းဆနည်းသော၊ အလူမီနီယမ်နှင့် နီးစပ်သည်။
ပုံပျက်ခြင်း မရှိပါ- အပူချဲ့ခြင်း၏ ကိန်းဂဏန်းနိမ့်
အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်- ၎င်းသည် ပြင်းထန်သော အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး တည်ငြိမ်သောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိသည်။
ဆီလီကွန် ကာဘိုင်တင် ကိရိယာ၊ ICP etching susceptor ကဲ့သို့သော ဆီလီကွန် ကာဗိုက် ကယ်ရီယာကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ CVD၊ ဖုန်စုပ်စက် စသည်တို့တွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုပါသည်။ မတူညီသော အသုံးချမှုများကို ပြည့်မီစေရန် ဆီလီကွန်နှင့် ဆီလီကွန် ကာဗိုက်ပစ္စည်းများကို စိတ်ကြိုက် wafer သယ်ဆောင်သူများကို ပေးဆောင်နိုင်ပါသည်။

အားသာချက်များ

ပစ္စည်းဥစ္စာ	တန်ဖိုး	နည်းလမ်း
သိပ်သည်းမှု	3.21 g/cc	နစ်-မျှောပြီး အတိုင်းအတာ
တိကျသောအပူ	0.66 J/g °K	Pulsed လေဆာဖလက်ရှ်
Flexural ခွန်အား	450 MPa560 MPa	4 မှတ်ကွေး၊ RT4 အမှတ်ကွေး၊ 1300°
ကျိုးပဲ့ခိုင်မာမှု	2.94 MPa m1/2	Microindentation
မာကျောခြင်း။	၂၈၀၀	Vicker's, 500g ဝန်
Elastic ModulusYoung ၏ Modulus	450 GPa 430 GPa	4 pt ကွေး၊ RT4 pt ကွေး၊ 1300 °C
စပါးအရွယ်အစား	2-10 µm	SEM

ကုမ္ပဏီအကြောင်း

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. သည် အဆင့်မြင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ကြွေထည်များကို ဦးဆောင်ရောင်းချသူဖြစ်ပြီး တရုတ်နိုင်ငံတွင် တစ်ခုတည်းသော ထုတ်လုပ်သူဖြစ်ပြီး သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည် (အထူးသဖြင့် Recrystallized SiC) နှင့် CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်းကို တစ်ပြိုင်နက် ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ ထို့အပြင်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ကုမ္ပဏီသည် အလူမီနာ၊ အလူမီနီယမ်နိုက်ထရိတ်၊ ဇာကွန်နီးယား၊ နှင့် ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ် အစရှိသည့် ကြွေထည်နယ်ပယ်များတွင်လည်း ကတိပြုပါသည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏အဓိကထုတ်ကုန်များ အပါအဝင်- ဆီလီကွန်ကာဗိုက် etching disc၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်လှေဆွဲ၊ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဝေဖာလှေ(Photovoltaic&Semiconductor)၊ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်မီးဖိုပြွန်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက် cantilever paddle၊ silicon carbide chucks၊ silicon carbide beam၊ Silicon carbide beam နှင့် CVC နှင့် coating အပေါ်ယံပိုင်း။ ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှု၊ epitaxy၊ etching၊ ထုပ်ပိုးမှု၊ coating နှင့် diffusion furnaces စသည်တို့ကဲ့သို့သော semiconductor နှင့် photovoltaic လုပ်ငန်းများတွင် အဓိကအသုံးပြုသည့် ထုတ်ကုန်များ။
(၂) လောက်၊