Semicera မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုSilicon Carbide Paddleခေတ်မီ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ တင်းကျပ်သော တောင်းဆိုချက်များကို ဖြည့်ဆည်းရန် စေ့စပ်သေချာစွာ တီထွင်ဖန်တီးထားခြင်း ဖြစ်သည်။ ဒီSiC Cantilever Paddleအပူချိန်မြင့်မားသော ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ထူးချွန်ပြီး နှိုင်းယှဉ်မနိုင်သော အပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တာရှည်ခံမှုကို ပေးဆောင်သည်။ SiC Cantilever ဖွဲ့စည်းပုံသည် ပြင်းထန်သောအခြေအနေများကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တည်ဆောက်ထားပြီး လုပ်ငန်းစဉ်အမျိုးမျိုးတစ်လျှောက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော wafer ကိုင်တွယ်မှုကို သေချာစေသည်။
ဆန်းသစ်တီထွင်မှု၏ အဓိကအချက်များထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။SiC Paddle၎င်း၏ ပေါ့ပါးသော်လည်း ခိုင်ခံ့သော ဒီဇိုင်းဖြစ်ပြီး ရှိပြီးသား စနစ်များတွင် လွယ်ကူစွာ ပေါင်းစည်းနိုင်စေပါသည်။ ၎င်း၏မြင့်မားသောအပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်းသည် etching နှင့် deposition ကဲ့သို့သောအရေးကြီးသောအဆင့်များအတွင်း wafer တည်ငြိမ်မှုကိုထိန်းသိမ်းရန်ကူညီပေးသည်၊ wafer ပျက်စီးမှုအန္တရာယ်ကိုလျှော့ချရန်နှင့်ပိုမိုမြင့်မားသောထုတ်လုပ်မှုအထွက်နှုန်းကိုသေချာစေသည်။ လှော်ကားတည်ဆောက်မှုတွင် သိပ်သည်းဆမြင့်မားသော ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ကို အသုံးပြုခြင်းသည် စုတ်ပြဲခြင်းနှင့် မျက်ရည်ယိုခြင်းတို့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေကာ လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုသက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးပြီး မကြာခဏ အစားထိုးမှုလိုအပ်မှုကို လျှော့ချပေးသည်။
Semicera သည် ဆန်းသစ်တီထွင်မှုအပေါ် အလေးပေးထားပြီး၊SiC Cantilever Paddle၎င်းသည် စက်မှုလုပ်ငန်းစံနှုန်းများနှင့် ကိုက်ညီရုံသာမက၊ ဤလှော်တက်ကို တိကျမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုတို့သည် အရေးကြီးသောနေရာတွင် အစစ်ခံခြင်းမှ etching အထိ အမျိုးမျိုးသော semiconductor applications များတွင် အသုံးပြုရန် အကောင်းဆုံးဖြစ်သည်။ ဤခေတ်မီနည်းပညာကို ပေါင်းစပ်ခြင်းဖြင့် ထုတ်လုပ်သူများသည် ပိုမိုကောင်းမွန်သော စွမ်းဆောင်ရည်၊ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုစရိတ်များ လျှော့ချခြင်းနှင့် ကိုက်ညီသော ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို မျှော်လင့်နိုင်သည်။
Recrystalized Silicon Carbide ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ | |
ပစ္စည်းဥစ္စာ | ရိုးရိုးတန်ဖိုး |
အလုပ်အပူချိန် (°C) | 1600°C (အောက်ဆီဂျင်ပါရှိ)၊ 1700°C (ပတ်ဝန်းကျင်ကို လျှော့ချပေးသည်) |
SiC အကြောင်းအရာ | > 99.96% |
အခမဲ့ Si အကြောင်းအရာ | < 0.1% |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု | 2.60-2.70 g/cm3 |
ထင်ရှားသော porosity | < 16% |
Compression ခွန်အား | > 600 MPa |
အအေးဓာတ်ကို ကွေးညွှတ်နိုင်စွမ်းရှိသည်။ | 80-90 MPa (20°C) |
ပူပြင်းသော ကွေးညွှတ်ခွန်အား | 90-100 MPa (1400°C) |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု @1500°C | ၄.၇၀ ၁၀-6/°C |
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း @1200°C | 23 W/m•K |
Elastic modulus | 240 GPa |
အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည် | အလွန့်အလွန်ကောင်းပါတယ်။ |