Isostatic PECVD Graphite Boat

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

Isostatic PECVD ဂရပ်ဖိုက်လှေကို ပိုလီဆီလီကွန်ဖလင် စုဆောင်းမှု၊ အောက်ဆိုဒ်ရုပ်ရှင် စုဆောင်းမှု၊ နိုက်ထရိတ်ဖလင် စုဆောင်းခြင်းစသည်ဖြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ရေး ချိတ်ဆက်မှု အမျိုးမျိုးတွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုပါသည်။ ၎င်း၏ အစွမ်းထက်သော စွမ်းဆောင်ရည်သည် PECVD လုပ်ငန်းစဉ်တွင် စံပြ wafer သယ်ဆောင်သူ ဖြစ်လာစေသည်။

ကျွန်ုပ်တို့ထံ အီးမေးလ်ပို့ပါ။

ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ထုတ်ကုန်အမှတ်အသား

SEMICERA isostatic PECVD ဂရပ်ဖိုက်လှေသည် PECVD (ပလာစမာ မြှင့်တင်ထားသော ဓာတုအငွေ့များ စုပုံခြင်း) လုပ်ငန်းစဉ်တွင် wafer အထောက်အပံ့အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော သန့်စင်မြင့်၊ သိပ်သည်းဆမြင့်သော ဂရပ်ဖိုက် ထုတ်ကုန်တစ်ခုဖြစ်သည်။ SEMICERA သည် ဂရပ်ဖိုက်သင်္ဘောတွင် အပူချိန်မြင့်မားသော ခုခံမှု၊ ချေးခံနိုင်ရည်၊ အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုနှင့် ကောင်းမွန်သောအပူစီးကူးနိုင်မှုတို့ကို သေချာစေရန်အတွက် အဆင့်မြင့် isostatic pressing နည်းပညာကို အသုံးပြုထားသည်။

SEMICERA isostatic PECVD ဂရပ်ဖိုက်လှေတွင် အောက်ပါ အားသာချက်များ ရှိသည်။

▪ မြင့်မားသော သန့်စင်မှု- ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းသည် wafer မျက်နှာပြင်ကို ညစ်ညမ်းစေခြင်းမှ ရှောင်ရှားရန် မြင့်မားသော သန့်စင်မှုနှင့် အညစ်အကြေးပါဝင်မှု နည်းပါးသည်။

▪ မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆ- မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆ၊ မြင့်မားသောစက်မှုစွမ်းအား၊ မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် မြင့်မားသောလေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

▪ ကောင်းမွန်သော အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှု- လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေရန် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် အသေးစားပြောင်းလဲမှု။

▪ အထူးကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်မှု- wafer အပူလွန်ကဲခြင်းကို ကာကွယ်ရန် ထိရောက်စွာ အပူကို လွှဲပြောင်းပါ။

▪ ခိုင်ခံ့သော သံချေးတက်ခြင်း- အမျိုးမျိုးသော အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် ပလာစမာများကြောင့် တိုက်စားမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

စွမ်းဆောင်ရည်သတ်မှတ်ချက်	semicera	SGL R6510	စွမ်းဆောင်ရည်သတ်မှတ်ချက်
အစုလိုက်သိပ်သည်းဆ (g/cm3)	၁.၉၁	၁.၈၃	၁.၈၅
ကွေးနိုင်အား (MPa)	63	60	49
တွန်းအား (MPa)	၁၃၅	၁၃၀	၁၀၃
Shore Hardness (HS)	70	64	60
အပူချဲ့ခြင်း၏ကိန်းဂဏန်း (10-6/K)	85	၁၀၅	၁၃၀
အပူချဲ့ခြင်း၏ကိန်းဂဏန်း (10-6/K)	၅.၈၅	၄.၂	၅.၀
ခုခံနိုင်စွမ်း (μΩm)	၁၁-၁၃	13	10

ကျွန်ုပ်တို့ကို ရွေးချယ်ခြင်း၏ အားသာချက်များ
▪ ပစ္စည်းရွေးချယ်ခြင်း- ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို သေချာစေရန်အတွက် သန့်ရှင်းသော ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများကို အသုံးပြုပါသည်။
▪ လုပ်ဆောင်ခြင်းနည်းပညာ- ထုတ်ကုန်သိပ်သည်းဆနှင့် တူညီမှုရှိစေရန် Isostatic နှိပ်ခြင်းကို အသုံးပြုပါသည်။
▪ အရွယ်အစားကို စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်ခြင်း- မတူညီသောအရွယ်အစားနှင့် ပုံသဏ္ဍာန်ရှိသော Graphite လှေများကို ဝယ်ယူသူလိုအပ်ချက်အရ စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်သည်။
▪ မျက်နှာပြင်ကို ကုသခြင်း- မတူညီသော လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်၊ ဘိုရွန်နိုက်ထရိတ်စသည်ဖြင့် အမျိုးမျိုးသော မျက်နှာပြင် ကုသမှုနည်းလမ်းများကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။