ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများ၏ ရှေ့၊ အလယ်နှင့် နောက်စွန်းများ
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်ကို အကြမ်းဖျင်းအားဖြင့် အဆင့်သုံးဆင့် ခွဲခြားနိုင်သည်။
1) ရှေ့ဆုံးလိုင်း
2) အလယ်လိုင်း၏အဆုံး
3) လိုင်း၏နောက်ကျော
ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ခြင်း၏ ရှုပ်ထွေးသော လုပ်ငန်းစဉ်ကို ရှာဖွေရန် အိမ်ဆောက်ခြင်းကဲ့သို့ ရိုးရှင်းသော ဥပမာကို ကျွန်ုပ်တို့ အသုံးပြုနိုင်သည်။
ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းရဲ့ ရှေ့ဆုံးက အုတ်မြစ်ချပြီး အိမ်နံရံတွေ ဆောက်သလိုပါပဲ။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင်၊ ဤအဆင့်တွင် ဆီလီကွန် wafer ပေါ်တွင် အခြေခံတည်ဆောက်ပုံများနှင့် transistor များဖန်တီးခြင်းတို့ပါဝင်သည်။
FEOL ၏ အဓိကခြေလှမ်းများ-
1. Cleaning- ပါးလွှာသော ဆီလီကွန် wafer ဖြင့် စတင်ပြီး အညစ်အကြေးများကို ဖယ်ရှားရန် သန့်စင်ပါ။
2.Oxidation- ချစ်ပ်၏ မတူညီသော အစိတ်အပိုင်းများကို ခွဲထုတ်ရန် wafer ပေါ်တွင် ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ် အလွှာကို ကြီးထွားစေသည်။
3.Photolithography- အလင်းဖြင့် ပုံကြမ်းများကို ရေးဆွဲခြင်းကဲ့သို့ wafer ပေါ်တွင် ပုံစံများကို ထွင်းထုရန် photolithography ကို အသုံးပြုပါ။
4.Etching- လိုချင်သောပုံစံများကိုဖော်ထုတ်ရန် မလိုလားအပ်သော ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ်ကို ဖယ်ထုတ်ပါ။
5.Doping- ၎င်း၏လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများကိုပြောင်းလဲရန်၊ ထရန်စစ္စတာများဖန်တီးရန်၊ မည်သည့်ချစ်ပ်များ၏အခြေခံတည်ဆောက်မှုတုံးများကိုဖြစ်စေရန်အတွက် ဆီလီကွန်ထဲသို့ အညစ်အကြေးများကို မိတ်ဆက်ပါ။
Mid End of Line (MEOL)- အစက်များကို ချိတ်ဆက်ခြင်း။
ထုတ်လုပ်မှုလိုင်း၏ အလယ်ဗဟိုသည် အိမ်တစ်အိမ်တွင် ဝိုင်ယာကြိုးများ တပ်ဆင်ခြင်းနှင့် တူသည်။ ဤအဆင့်သည် FEOL အဆင့်တွင် ဖန်တီးထားသော ထရန်စစ္စတာများကြား ချိတ်ဆက်မှုများကို ထူထောင်ခြင်းအပေါ် အာရုံစိုက်သည်။
MEOL ၏ အဓိကခြေလှမ်းများ
1.Dielectric Deposition- ထရန်စစ္စတာများကို ကာကွယ်ရန်အတွက် လျှပ်ကာအလွှာများ (dielectrics ဟုခေါ်သည်) ကို အပ်နှံပါ။
2.Contact Formation- ထရန်စစ္စတာများကို အချင်းချင်းနှင့် ပြင်ပကမ္ဘာသို့ ချိတ်ဆက်ရန် အဆက်အသွယ်များ ဖွဲ့ပါ။
3.Interconnect- ချောမွေ့စွာပါဝါနှင့်ဒေတာစီးဆင်းမှုသေချာစေရန်အိမ်တစ်အိမ်အားဝါယာကြိုးသွယ်ခြင်းကဲ့သို့လျှပ်စစ်အချက်ပြများအတွက်လမ်းကြောင်းများဖန်တီးရန်သတ္တုအလွှာများထည့်ပါ။
Back End of Line (BEOL)- ပြီးအောင်ထိခြင်းများ
ထုတ်လုပ်မှုလိုင်း၏နောက်ဘက်အဆုံးသည် အိမ်တစ်အိမ်သို့ နောက်ဆုံးထိတွေ့မှုများကို ပေါင်းထည့်ခြင်းကဲ့သို့ဖြစ်သည်—ပစ္စည်းကိရိယာများ တပ်ဆင်ခြင်း၊ ပန်းချီဆွဲခြင်းနှင့် အရာအားလုံး အဆင်ပြေစေခြင်းတို့ကို ဆောင်ရွက်ပေးပါသည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင်၊ ဤအဆင့်တွင် နောက်ဆုံးအလွှာများထည့်ခြင်းနှင့် ထုပ်ပိုးခြင်းအတွက် ချစ်ပ်ကိုပြင်ဆင်ခြင်းတို့ပါဝင်သည်။
BEOL ၏ အဓိကခြေလှမ်းများ
1.Additional Metal Layers- ချစ်ပ်သည် ရှုပ်ထွေးသောလုပ်ဆောင်စရာများနှင့် မြန်နှုန်းမြင့်မှုများကို ကိုင်တွယ်ဆောင်ရွက်နိုင်ကြောင်း သေချာစေရန် အပြန်အလှန်ချိတ်ဆက်နိုင်စေရန် သတ္တုအလွှာများစွာကို ပေါင်းထည့်ပါ။
2.Passivation- ချစ်ပ်ပြားကို ပတ်ဝန်းကျင်ပျက်စီးမှုမှ ကာကွယ်ရန် အကာအကွယ်အလွှာများကို အသုံးချပါ။
3. စမ်းသပ်ခြင်း- ချစ်ပ်အား သတ်မှတ်ချက်များအားလုံးနှင့် ကိုက်ညီကြောင်း သေချာစေရန် ပြင်းထန်သော စမ်းသပ်မှုတွင် ထည့်သွင်းပါ။
4.Dicing- wafer ကို ထုပ်ပိုးပြီး အီလက်ထရွန်နစ် ကိရိယာများတွင် အသုံးပြုရန် အဆင်သင့်ဖြစ်ပြီ တစ်ခုစီတွင် ချစ်ပ်ပြားများ ဖြတ်ပါ။
Semicera သည် ကျွန်ုပ်တို့၏ဖောက်သည်များအတွက် ခြွင်းချက်တန်ဖိုးများကို ပေးဆောင်ရန် ရည်ရွယ်ထားသော တရုတ်နိုင်ငံရှိ ထိပ်တန်း OEM ထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ပြည့်စုံသော အရည်အသွေးမြင့် ထုတ်ကုန်များနှင့် ဝန်ဆောင်မှုများကို ပေးဆောင်ပါသည်၊
1.CVD SiC Coating(Epitaxy၊ စိတ်ကြိုက် CVD-coated အစိတ်အပိုင်းများ၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာအပလီကေးရှင်းများအတွက် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် coatings များနှင့် အခြားအရာများ)
2.CVD SiC အစုလိုက် အစိတ်အပိုင်းများ(Etch rings၊ focus rings၊ semiconductor ပစ္စည်းများအတွက် စိတ်ကြိုက် SiC အစိတ်အပိုင်းများနှင့် အခြားအရာများ)
3.CVD TaC coated အစိတ်အပိုင်းများ(Epitaxy၊ SiC wafer ကြီးထွားမှု၊ အပူချိန်မြင့်မားသောအသုံးချမှုများနှင့် အခြားအရာများ)
4.ဖိုက်တင်အစိတ်အပိုင်းများ(ဂရပ်ဖိုက်လှေများ၊ အပူချိန်မြင့်မားစွာလုပ်ဆောင်ရန်အတွက် စိတ်ကြိုက်ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်းများနှင့် အခြားအရာများ)
5.SiC အစိတ်အပိုင်းများ(SiC လှေများ၊ SiC မီးဖိုပြွန်များ၊ အဆင့်မြင့် ပစ္စည်းပြုပြင်ခြင်းအတွက် စိတ်ကြိုက် SiC အစိတ်အပိုင်းများနှင့် အခြားအရာများ)
6.Quartz အစိတ်အပိုင်းများ(Quartz လှေများ၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနှင့် နေရောင်ခြည်စွမ်းအင်သုံး လုပ်ငန်းများအတွက် စိတ်ကြိုက် Quartz အစိတ်အပိုင်းများနှင့် အခြားအရာများ)
ကျွန်ုပ်တို့၏ ထူးချွန်မှုအတွက် ကတိကဝတ်ပြုမှုသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်း၊ အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းများ စီမံဆောင်ရွက်ပေးခြင်းနှင့် အဆင့်မြင့်နည်းပညာသုံး အပလီကေးရှင်းများအပါအဝင် စက်မှုလုပ်ငန်းအမျိုးမျိုးအတွက် ဆန်းသစ်ပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော ဖြေရှင်းနည်းများကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ တိကျမှုနှင့် အရည်အသွေးကို အာရုံစိုက်ခြင်းဖြင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဖောက်သည်တစ်ဦးစီ၏ ထူးခြားသောလိုအပ်ချက်များကို ဖြည့်ဆည်းပေးပါသည်။
စာတိုက်အချိန်- ဒီဇင်ဘာ-၀၉-၂၀၂၄