ကျွန်ုပ်တို့သည် SiC အလွှာအတွက် စီမံဆောင်ရွက်ပုံအဆင့်ဆင့်မှာ အောက်ပါအတိုင်းဖြစ်သည်-
1. Crystal Orientation- အလင်းဝင်ပေါက်ကို ဦးတည်ရန် X-ray diffraction ကို အသုံးပြုခြင်း။X-ray အလင်းတန်းကို အလိုရှိသော ပုံဆောင်ခဲမျက်နှာသို့ ညွှန်ပြသောအခါ၊ ကွဲလွဲနေသော အလင်းတန်း၏ ထောင့်သည် ကြည်လင်သော လမ်းကြောင်းကို ဆုံးဖြတ်သည်။
2. ပြင်ပအချင်း ကြိတ်ခြင်း- ဂရပ်ဖိုက် Crucible များတွင် ပေါက်ရောက်သော တစ်ခုတည်းသော သလင်းကျောက်များသည် စံအချင်းထက် ကျော်လွန်လေ့ရှိသည်။ပြင်ပအချင်းကို ကြိတ်ခွဲခြင်းဖြင့် ၎င်းတို့ကို စံအရွယ်အစားအဖြစ် လျှော့ချပေးသည်။
End Face Grinding- 4-လက်မ 4H-SiC အလွှာများတွင် ပုံမှန်အားဖြင့် နေရာချထားခြင်း အစွန်းနှစ်ခု၊ မူလနှင့် အလယ်တန်းရှိသည်။မျက်နှာကို ကြိတ်ခြင်းဖြင့် ဤနေရာယူထားသော အစွန်းများကို ဖွင့်ပေးသည်။
3. Wire Sawing- ဝါယာလွှသည် 4H-SiC အလွှာများကို စီမံဆောင်ရွက်ရာတွင် အရေးကြီးသော အဆင့်တစ်ခုဖြစ်သည်။ဝါယာကြိုးလွှစဉ်အတွင်း ဖြစ်ပေါ်လာသော အက်ကြောင်းများနှင့် မျက်နှာပြင်အောက်ပိုင်း ပျက်စီးမှုများသည် နောက်ဆက်တွဲ လုပ်ငန်းစဉ်များကို အပျက်သဘောဆောင်ကာ၊ စီမံဆောင်ရွက်ချိန်ကို တိုးမြှင့်ကာ ပစ္စည်းဆုံးရှုံးမှုကို ဖြစ်စေသည်။အသုံးအများဆုံးနည်းလမ်းမှာ စိန်အနုဖြင့် ဝိုင်ယာပေါင်းများစွာ ဖြတ်ခြင်းဖြစ်ပါသည်။4H-SiC ingot ကို ဖြတ်တောက်ရန် စိန်အညစ်အကြေးများနှင့် ပေါင်းစပ်ထားသော သတ္တုဝါယာကြိုးများ၏ အပြန်အလှန် ရွေ့လျားမှုကို အသုံးပြုသည်။
4. Chamfering- အစွန်းများကွဲခြင်းမှကာကွယ်ရန်နှင့် နောက်ဆက်တွဲလုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း စားသုံးနိုင်သောဆုံးရှုံးမှုများကို လျှော့ချရန်အတွက်၊ ဝါယာကြိုးဖြတ်ထားသော ချစ်ပ်များ၏ ချွန်ထက်သောအစွန်းများကို သတ်မှတ်ထားသောပုံစံများအတိုင်း ဖိထားသည်။
5. ပါးလွှာခြင်း- ဝါယာလွှသည် ခြစ်ရာများနှင့် မျက်နှာပြင်ခွဲများ ပျက်စီးမှုများစွာကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။ဤချို့ယွင်းချက်များကို တတ်နိုင်သမျှ ဖယ်ရှားရန် စိန်ဘီးများကို အသုံးပြု၍ ပါးလွှာခြင်း ပြုလုပ်ပါသည်။
6. ကြိတ်ခြင်း- ဤလုပ်ငန်းစဉ်တွင် သေးငယ်သော ဘိုရွန်ကာဘိုက် သို့မဟုတ် စိန်အညစ်အကြေးများကို အသုံးပြု၍ ကြမ်းတမ်းစွာ ကြိတ်ချေခြင်း နှင့် သေးငယ်သော ကြိတ်ခွဲခြင်း ပါဝင်သည်။
7. ပွတ်တိုက်ခြင်း- နောက်ဆုံးအဆင့်များတွင် အလူမီနာ သို့မဟုတ် ဆီလီကွန်အောက်ဆိုဒ် ပွန်းစားပစ္စည်းများကို အသုံးပြု၍ ကြမ်းတမ်းသော ပေါလစ်တိုက်ခြင်းနှင့် ချောမွတ်ခြင်းတို့ ပါဝင်ပါသည်။ပွတ်တိုက်သောအရည်သည် မျက်နှာပြင်ကို ပျော့ပျောင်းစေပြီး၊ ထို့နောက် အညစ်အကြေးများကို စက်ဖြင့်ဖယ်ရှားသည်။ဤအဆင့်သည် ချောမွေ့ပြီး ပျက်စီးနေသော မျက်နှာပြင်ကို သေချာစေသည်။
8. သန့်ရှင်းရေး- လုပ်ဆောင်ခြင်းအဆင့်များမှ ကျန်ရှိသော အမှုန်အမွှားများ၊ သတ္တုများ၊ အောက်ဆိုဒ်ရုပ်ရှင်များ၊ အော်ဂဲနစ်အကြွင်းအကျန်များနှင့် အခြားညစ်ညမ်းမှုများကို ဖယ်ရှားခြင်း။
စာတိုက်အချိန်- မေလ ၁၅-၂၀၂၄