ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းသည် အရည်အသွေးမြင့် အီလက်ထရွန်နစ်ကိရိယာများထုတ်လုပ်ရန် အထူးပြု စက်ကိရိယာများပေါ်တွင် မှီခိုအားထားနေရပါသည်။ epitaxial ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်တွင်ထိုကဲ့သို့သောအရေးကြီးသောအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုမှာ epi pan carrier ဖြစ်သည်။ ဤစက်ပစ္စည်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafers များပေါ်ရှိ epitaxial အလွှာများ စုပုံခြင်းတွင် အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပြီး နောက်ဆုံးထုတ်ကုန်၏ တူညီမှုနှင့် အရည်အသွေးကို အာမခံပါသည်။
epitaxy pan carrier ဟုလည်းသိကြသော epi pan carrier သည် epitaxial ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်တွင်အသုံးပြုသောအထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသောဗန်းဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် epitaxial အလွှာများ အပ်နှံစဉ်အတွင်း semiconductor wafers များကို ကိုင်ဆောင်ထားပြီး ထောက်ပံ့ပေးသည်။ ဤသယ်ဆောင်သူများသည် epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ ပုံမှန်မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် အဆိပ်ရှိသောပတ်ဝန်းကျင်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တီထွင်ဖန်တီးထားပြီး တစ်ခုတည်းသောသလင်းခဲအလွှာများကြီးထွားမှုအတွက် တည်ငြိမ်သောပလပ်ဖောင်းတစ်ခုပံ့ပိုးပေးပါသည်။
ပစ္စည်းများနှင့် ဆောက်လုပ်ရေး-
Epi pan သယ်ဆောင်သူများသည် ပုံမှန်အားဖြင့် ပြင်းထန်သောအပူချိန်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတုတုံ့ပြန်မှုများကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပစ္စည်းများမှ ပြုလုပ်ကြသည်။ အသုံးများသောပစ္စည်းများပါဝင်သည်-
•ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC): ၎င်း၏မြင့်မားသောအပူစီးကူးမှုနှင့် ဝတ်ဆင်မှုနှင့် ဓာတ်တိုးမှုကိုခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် လူသိများသော SiC သည် epi pan carriers များအတွက် ရေပန်းစားသောရွေးချယ်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်။
• Graphite- ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သောအပူဂုဏ်သတ္တိများနှင့် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာ သမာဓိထိန်းသိမ်းနိုင်မှုတို့ကြောင့် မကြာခဏအသုံးပြုသည်။ Graphite carriers များကို များသောအားဖြင့် SiC ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားပြီး ၎င်းတို့၏ ကြာရှည်ခံမှုနှင့် သံချေးတက်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေပါသည်။
Epitaxial ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်တွင် အခန်းကဏ္ဍ-
epitaxial ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်တွင် ပုံဆောင်ခဲအလွှာတစ်ခု သို့မဟုတ် wafer ပေါ်တွင် ပုံဆောင်ခဲအလွှာတစ်ခု ထွက်လာခြင်း ပါဝင်သည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်သည် တိကျသောလျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိရှိသော semiconductor ကိရိယာများဖန်တီးရာတွင် အရေးကြီးပါသည်။ epi pan carrier သည် တုံ့ပြန်မှုခန်းရှိ wafer ကို ပံ့ပိုးပေးပြီး အပ်နှံမှုလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ၎င်းကို တည်ငြိမ်မှုရှိစေရန် သေချာစေသည်။
epi pan carrier ၏ အဓိကလုပ်ဆောင်ချက်များမှာ-
• Uniform Heat Distribution- သယ်ဆောင်သူသည် တစ်သမတ်တည်း epitaxial အလွှာအထူနှင့် အရည်အသွေးရရှိရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော wafer တစ်လျှောက် အပူဖြန့်ဖြူးမှုကိုပင် သေချာစေသည်။
• ဓာတုအထီးကျန်ခြင်း- တည်ငြိမ်ပြီး မသန်စွမ်းသော မျက်နှာပြင်ကို ပံ့ပိုးပေးခြင်းဖြင့်၊ သယ်ဆောင်သူသည် epitaxial အလွှာ၏ အရည်အသွေးကို ကျဆင်းသွားစေမည့် မလိုလားအပ်သော ဓာတုတုံ့ပြန်မှုများကို တားဆီးပေးသည်။
အရည်အသွေးမြင့်ခြင်း၏ အကျိုးကျေးဇူးများEpi Pan သယ်ဆောင်သူများ:
• ပိုမိုကောင်းမွန်သော စက်ပစ္စည်း၏စွမ်းဆောင်ရည်- ယူနီဖောင်း epitaxial အလွှာများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာကိရိယာများ၏ သာလွန်ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်ကို အထောက်အကူဖြစ်စေပြီး စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်။
• အထွက်နှုန်းတိုးသည်- ချွတ်ယွင်းချက်များကို လျှော့ချပြီး တူညီသောအလွှာ အစစ်ခံမှုကို သေချာစေခြင်းဖြင့်၊ အရည်အသွေးမြင့် သယ်ဆောင်သူများသည် အသုံးပြုနိုင်သော semiconductor wafers များ၏ အထွက်နှုန်းကို တိုးတက်စေသည်။
• ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချခြင်း- တာရှည်ခံပစ္စည်းများနှင့် တိကျသောအင်ဂျင်နီယာသည် မကြာခဏ အစားထိုးခြင်းနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု လိုအပ်မှုကို လျှော့ချစေပြီး အလုံးစုံထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို လျှော့ချပေးသည်။
epi pan carrier သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာကိရိယာများ၏ အရည်အသွေးနှင့် လိုက်လျောညီထွေရှိမှုကို တိုက်ရိုက်လွှမ်းမိုးသည့် epitaxial ကြီးထွားမှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အရေးကြီးသောအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ မှန်ကန်သောပစ္စည်းများနှင့် ဒီဇိုင်းကိုရွေးချယ်ခြင်းဖြင့် ထုတ်လုပ်သူများသည် epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် လုပ်ဆောင်နိုင်ပြီး စက်ပစ္စည်းစွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပြီး ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို လျှော့ချပေးနိုင်သည်။ အဆင့်မြင့် အီလက်ထရွန်နစ် ကိရိယာများ ၀ယ်လိုအား တိုးလာသည်နှင့်အမျှ အရည်အသွေးမြင့် ကိရိယာများ၏ အရေးပါမှုလည်း ဖြစ်သည်။epi pan သယ်ဆောင်သူများဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ဆက်လက်တိုးမြင့်လာသည်။
စာတိုက်အချိန်- သြဂုတ်-၁၃-၂၀၂၄