epitaxy ဆိုတာ ဘာလဲ

အင်ဂျင်နီယာအများစုက မသိကြဘူး။epitaxyဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကိရိယာ ထုတ်လုပ်မှုတွင် အရေးပါသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။Epitaxyမတူညီသော ချစ်ပ်ထုတ်ကုန်များတွင် အသုံးပြုနိုင်ပြီး မတူညီသောထုတ်ကုန်များတွင် ပါဝင်သော epitaxy အမျိုးအစားများရှိသည်။Si epitaxy, SiC epitaxy, GaN epitaxyစသည်တို့

epitaxy ဆိုတာ ဘာလဲ
Epitaxy ကို အင်္ဂလိပ်လို “Epitaxy” ဟုခေါ်သည်။ စကားလုံးသည် ဂရိစကားလုံး “epi” (“အထက်” ဟု အဓိပ္ပါယ်ရပြီး “တက္ကစီ” (“စီစဉ်မှု”ဟု အဓိပ္ပာယ်) မှ ဆင်းသက်လာသည်။ နာမတော်အရ၊ အရာဝတ္ထုတစ်ခု၏အပေါ်တွင် သပ်သပ်ရပ်ရပ် စီထားခြင်းကို ဆိုလိုသည်။ epitaxy လုပ်ငန်းစဉ်သည် ပါးလွှာသော ပုံဆောင်ခဲအလွှာတစ်ခုအား သလင်းကျောက်လွှာတစ်ခုပေါ်တွင် အပ်နှံရန်ဖြစ်သည်။ အသစ်ထည့်သွင်းထားသော တစ်ခုတည်းသော ပုံဆောင်ခဲအလွှာကို epitaxial အလွှာဟုခေါ်သည်။

epitaxy ၏ အဓိက အမျိုးအစား နှစ်မျိုး ရှိသည် - homoepitaxial နှင့် heteroepitaxial ။ Homoepitaxial သည် တူညီသောအလွှာတစ်ခုပေါ်တွင် တူညီသောပစ္စည်းကို စိုက်ပျိုးခြင်းကို ရည်ညွှန်းသည်။ epitaxial အလွှာနှင့် အလွှာသည် အတိအကျတူညီသော ရာဇမတ်ကွက်ဖွဲ့စည်းပုံရှိသည်။ Heteroepitaxy သည် ပစ္စည်းတစ်ခု၏ အလွှာတစ်ခုပေါ်တွင် အခြားပစ္စည်းတစ်ခု၏ ကြီးထွားမှုဖြစ်သည်။ ဤကိစ္စတွင်၊ epitaxially ကြီးထွားလာသောပုံဆောင်ခဲအလွှာ၏ရာဇမတ်ကွက်ဖွဲ့စည်းပုံနှင့် substrate ကွဲပြားနိုင်သည်။ တစ်ခုတည်းသော crystals နှင့် polycrystalline တို့သည် အဘယ်နည်း။
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာများတွင်၊ single crystal silicon နှင့် polycrystalline silicon ဟူသော ဝေါဟာရများကို မကြာခဏ ကြားနေရသည်။ အဘယ်ကြောင့် အချို့ဆီလီကွန်များကို single crystals ဟုခေါ်ကြပြီး အချို့ဆီလီကွန်ကို polycrystalline ဟုခေါ်ကြသည်။

တစ်ခုတည်းသောပုံဆောင်ခဲ- ရာဇမတ်ကွက်ဖွဲ့စည်းမှုသည် စဉ်ဆက်မပြတ်ဖြစ်ပြီး မပြောင်းလဲဘဲ၊ ဆိုလိုသည်မှာ၊ ပုံဆောင်ခဲတစ်ခုလုံးသည် တသမတ်တည်းရှိသော သလင်းကျောက်ကို တိမ်းညွတ်မှုဖြင့် ကွက်ကွက်တစ်ခုဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။ Polycrystalline- Polycrystalline သည် သေးငယ်သော အစေ့အဆန်များစွာဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားပြီး၊ တစ်ခုစီသည် ပုံဆောင်ခဲတစ်ခုဖြစ်ပြီး ၎င်းတို့၏ ဦးတည်ချက်များသည် တစ်ခုနှင့်တစ်ခု စပ်လျဉ်း၍ ကျပန်းဖြစ်သည်။ ဤအစေ့များကို စပါးနယ်နိမိတ်ဖြင့် ပိုင်းခြားထားသည်။ polycrystalline ပစ္စည်းများ၏ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်သည် crystals တစ်ခုတည်းထက်နိမ့်သောကြောင့်၎င်းတို့သည်အချို့သောအပလီကေးရှင်းများတွင်အသုံးဝင်ဆဲဖြစ်သည်။ epitaxial ဖြစ်စဉ်သည် မည်သည့်နေရာတွင် ပါဝင်မည်နည်း။
ဆီလီကွန်အခြေခံ ပေါင်းစပ်ဆားကစ်များ ထုတ်လုပ်ရာတွင်၊ epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်ကို တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုပါသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ ဆီလီကွန် epitaxy ကို အဆင့်မြင့် ပေါင်းစပ်ဆားကစ်များထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အလွန်အရေးကြီးသည့် ဆီလီကွန်အလွှာတစ်ခုပေါ်ရှိ သန့်စင်ပြီး ကောင်းစွာထိန်းချုပ်ထားသော ဆီလီကွန်အလွှာကို ကြီးထွားရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။ ထို့အပြင်၊ ပါဝါစက်ပစ္စည်းများတွင် SiC နှင့် GaN တို့သည် အစွမ်းထက်သော ပါဝါကိုင်တွယ်နိုင်စွမ်းရှိသည့် ကျယ်ပြန့်သော အသုံးများသည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း နှစ်မျိုးဖြစ်သည်။ ဤပစ္စည်းများကို epitaxy မှတဆင့် ဆီလီကွန် သို့မဟုတ် အခြားအလွှာများတွင် စိုက်ပျိုးကြသည်။ ကွမ်တမ်ဆက်သွယ်ရေးတွင်၊ semiconductor-based quantum bits များသည် များသောအားဖြင့် ဆီလီကွန်ဂျာမနီယမ် epitaxial တည်ဆောက်ပုံများကို အသုံးပြုကြသည်။ စသည်တို့

epitaxial ကြီးထွားမှုနည်းလမ်းများ?

အသုံးများသော semiconductor epitaxy နည်းလမ်းသုံးမျိုး

Molecular beam epitaxy (MBE): Molecular beam epitaxy) သည် အလွန်မြင့်မားသော လေဟာနယ်အခြေအနေအောက်တွင် လုပ်ဆောင်သည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း epitaxial ကြီးထွားမှုနည်းပညာတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤနည်းပညာတွင်၊ အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းကို အက်တမ် သို့မဟုတ် မော်လီကျူးအလင်းတန်းများအသွင်ဖြင့် အငွေ့ပျံပြီး ပုံဆောင်ခဲအလွှာတစ်ခုပေါ်တွင် အပ်နှံသည်။ MBE သည် အလွန်တိကျပြီး ထိန်းချုပ်နိုင်သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ပါးလွှာသော ဖလင်ကြီးထွားမှု နည်းပညာတစ်ခုဖြစ်ပြီး အက်တမ်အဆင့်တွင် အပ်နှံထားသော ပစ္စည်းများ၏ အထူကို တိကျစွာ ထိန်းချုပ်နိုင်သည်။

သတ္တုအော်ဂဲနစ် CVD (MOCVD) : MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်တွင် လိုအပ်သောဒြပ်စင်များပါရှိသော အော်ဂဲနစ်သတ္တုများနှင့် ဟိုက်ဒရိုက်ဓာတ်ငွေ့များကို သင့်လျော်သောအပူချိန်ဖြင့် အလွှာသို့ ပံ့ပိုးပေးကာ လိုအပ်သော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများကို ဓာတုတုံ့ပြန်မှုမှတစ်ဆင့် ထုတ်ပေးပြီး ကျန်အလွှာပေါ်တွင် ထားရှိပြီး၊ ဒြပ်ပေါင်းများနှင့် တုံ့ပြန်မှု ထုတ်ကုန်များကို ထုတ်လွှတ်သည်။

Vapor Phase Epitaxy (VPE) - Vapor Phase Epitaxy သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကိရိယာများ ထုတ်လုပ်ရာတွင် အသုံးများသော အရေးကြီးသော နည်းပညာတစ်ခု ဖြစ်သည်။ ၎င်း၏အခြေခံနိယာမမှာ ဓာတ်တစ်မျိုး သို့မဟုတ် ဒြပ်ပေါင်းတစ်ခု၏ အခိုးအငွေ့ကို သယ်ဆောင်သူဓာတ်ငွေ့တစ်ခုတွင် သယ်ဆောင်ကာ ဓာတုတုံ့ပြန်မှုမှတစ်ဆင့် အလွှာတစ်ခုပေါ်ရှိ ပုံဆောင်ခဲများကို သယ်ဆောင်ရန်ဖြစ်သည်။