Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) သည် အရည်အသွေးမြင့် ပါးလွှာသော ရုပ်ရှင်များကို အလွှာများပေါ်သို့ အပ်နှံသည့် semiconductor လုပ်ငန်းတွင် အရေးကြီးသော လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခု ဖြစ်သည်။ MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်၏ အဓိက အစိတ်အပိုင်းမှာ ထုတ်လုပ်သည့် ရုပ်ရှင်များ၏ တူညီမှုနှင့် အရည်အသွေးကို သေချာစေရန်အတွက် အရေးကြီးသော အခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်သည့် susceptor ဖြစ်သည်။
Susceptor ဆိုတာဘာလဲ။ susceptor သည် MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အသုံးပြုသော အထူးပြုအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး ပါးလွှာသောဖလင်များကို စုဆောင်းထားသည့်အလွှာအား ပံ့ပိုးပေးပြီး အပူပေးသည်။ ၎င်းသည် လျှပ်စစ်သံလိုက်စွမ်းအင်ကို စုပ်ယူခြင်း၊ အပူအဖြစ်သို့ ပြောင်းလဲခြင်းနှင့် ဤအပူကို အလွှာအနှံ့ ညီတူညီမျှ ဖြန့်ဝေပေးခြင်းအပါအဝင် လုပ်ဆောင်ချက်များစွာကို လုပ်ဆောင်ပေးပါသည်။ ဤတူညီသောအပူပေးခြင်းသည် တိကျသောအထူနှင့်ဖွဲ့စည်းမှုရှိသော တစ်သားတည်းဖြစ်သောရုပ်ရှင်များကြီးထွားမှုအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။
Susceptors အမျိုးအစားများ
1. Graphite Susceptors- ကဲ့သို့သော အကာအကွယ်အလွှာတစ်ခုဖြင့် ကာရံထားသည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC)graphite susceptors များသည် ၎င်းတို့၏ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုအတွက် လူသိများသည်။ ဟိSiC အပေါ်ယံပိုင်းမြင့်မားသောအပူချိန်တွင် သံချေးတက်ခြင်းနှင့် ပျက်စီးခြင်းတို့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော မာကျောသော၊ အကာအကွယ်ပေးသည့် မျက်နှာပြင်ကို ထောက်ပံ့ပေးသည်။
2. Silicon Carbide (SiC) Susceptors များ: ၎င်းတို့ကို SiC မှ လုံးလုံးလျားလျား ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် အပူပိုင်းတည်ငြိမ်မှုနှင့် စုတ်ပြဲခြင်းတို့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေပါသည်။SiC စုပ်ယူသည်။အထူးသဖြင့် အပူချိန်မြင့်သော လုပ်ငန်းစဉ်များနှင့် အဆိပ်သင့်သော ပတ်ဝန်းကျင်များအတွက် အထူးသင့်လျော်ပါသည်။
ဘယ်လိုလဲလက်ခံသူများMOCVD တွင်အလုပ်။
MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ ရှေ့ပြေးနမိတ်များကို ဓာတ်ပေါင်းဖိုခန်းထဲသို့ ထည့်သွင်းပေးကာ ၎င်းတို့သည် ပြိုကွဲကာ မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ပါးလွှာသော ဖလင်တစ်ချပ်အဖြစ် တုံ့ပြန်မှုပြုသော ဓါတ်ပေါင်းဖိုခန်းထဲသို့ မိတ်ဆက်ပေးပါသည်။ Substrate သည် တူညီသောအပူရှိစေရန် သေချာစေခြင်းဖြင့် susceptor သည် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပြီး မျက်နှာပြင်တစ်ခုလုံးတွင် တစ်သမတ်တည်းရုပ်ရှင်ဂုဏ်သတ္တိများရရှိစေရန်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။ Susceptor ၏ ပစ္စည်းနှင့် ဒီဇိုင်းအား အပူချိန်အကွာအဝေးနှင့် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ လိုက်ဖက်ညီမှုကဲ့သို့သော အစစ်ခံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်၏ သီးခြားလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီရန် ဂရုတစိုက်ရွေးချယ်ထားပါသည်။
အသုံးပြုခြင်း၏အကျိုးကျေးဇူးများအရည်အသွေးမြင့် Susceptors:
• ပိုမိုကောင်းမွန်သောရုပ်ရှင်အရည်အသွေး- တစ်ပြေးညီအပူဖြန့်ဖြူးပေးခြင်းဖြင့်၊ ဆက်ခံကိရိယာများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာကိရိယာများ၏စွမ်းဆောင်ရည်အတွက်အရေးပါသောတသမတ်တည်းအထူနှင့်ဖွဲ့စည်းမှုရှိသောရုပ်ရှင်များကိုရရှိစေရန်ကူညီပေးသည်။
• တိုးမြှင့်လုပ်ဆောင်မှု ထိရောက်မှု- အရည်အသွေးမြင့် susceptors များသည် ချို့ယွင်းချက်များ ဖြစ်နိုင်ခြေကို လျှော့ချပြီး အသုံးပြုနိုင်သော ရုပ်ရှင်များ၏ အထွက်နှုန်းကို တိုးမြှင့်ခြင်းဖြင့် MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်၏ အလုံးစုံ ထိရောက်မှုကို တိုးတက်စေသည်။
• အသက်ရှည်ခြင်းနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှု- SiC ကဲ့သို့သော တာရှည်ခံပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည့် Susceptors များသည် ရေရှည်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချပေးပါသည်။
နိဂုံးချုပ်- susceptor သည် MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်တွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး ပါးလွှာသောဖလင်စုဆောင်းခြင်း၏ အရည်အသွေးနှင့် ထိရောက်မှုကို တိုက်ရိုက်အကျိုးသက်ရောက်စေသည်။ မှန်ကန်သော susceptor ပစ္စည်းနှင့် ဒီဇိုင်းကို ရွေးချယ်ခြင်းဖြင့်၊ semiconductor ထုတ်လုပ်သူများသည် ၎င်းတို့၏ လုပ်ငန်းစဉ်များကို ပိုမိုကောင်းမွန်အောင် လုပ်ဆောင်နိုင်ပြီး ပိုမိုကောင်းမွန်သော စက်စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်များကို သက်သာစေပါသည်။ စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် အီလက်ထရွန်နစ် စက်ပစ္စည်းများ၏ လိုအပ်ချက်သည် ဆက်လက်ကြီးထွားလာသည်နှင့်အမျှ အရည်အသွေးမြင့် MOCVD susc ၏ အရေးပါမှု၊
တင်ချိန်- သြဂုတ်-၁၂-၂၀၂၄