wafer carrier မိတ်ဆက်
ကုန်ပစ္စည်းအမျိုးအစား
▶PECVD နှင့် TALOX လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် Wafer Carrier စနစ်
• PECVD နှင့် TALOX Graphite Boat (M4~M12)
• ဒေါင်လိုက် SM-Boat (M4၊ M6)
• Implant & shower Graphite အပိုင်း (M4~M6)
• C/C Tray & Ceramic Coating
• Metal RIE-Tray & Ceramic Coating
• ဖုန်စုပ်ပိတ်ခြင်း- O-Ring နှင့် SQ-Ring
▶Texturing & Wet Etching Transfer လုပ်ငန်းစဉ်
• LSC H-Carrier သို့မဟုတ် ကက်ဆက် (M4~M12)
• LSC V-Carrier သို့မဟုတ် ကက်ဆက် (M4~M12)
• ASC ကယ်ရီယာ သို့မဟုတ် ကက်ဆက် (M4၊ M6)
• W/F ဝန်ဆောင်မှုပေးသူနှင့် သိုလှောင်မှုသေတ္တာ (M4~M12)
• Transport Wheel (Roller) စီးရီး
▶Solar Cell Carrier နှင့် Metal Carrier
• TRC ဖုန်းလိုင်း သို့မဟုတ် ကက်ဆက် (M4~M12)
• မဂ္ဂဇင်း (ခါးပတ်ပါသော)
ဂရပ်ဖစ်လှေ (H-အမျိုးအစား)
19P6-216CT (WF M4~M12)
ဂရပ်ဖစ်လှေ (H-အမျိုးအစား)
21P6-240CT WF M4~M12)
ဂရပ်ဖစ်လှေ (H-အမျိုးအစား)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
ဂရပ်ဖစ်လှေ (H-အမျိုးအစား)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
ဂရပ်ဖစ်လှေ (H-အမျိုးအစား)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF ကယ်ရီယာနှင့် သိုလှောင်မှုသေတ္တာ (~M12)
C/C ဗန်း သို့မဟုတ် ကယ်ရီယာ (M4~M10)
C/C ဗန်း သို့မဟုတ် ကယ်ရီယာ (M4~M10)
VERTICAL BOAT (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC ကယ်ရီယာ (~M6)
TRC ကယ်ရီယာ(~M12)
TRC ကယ်ရီယာ(~M12)
ဂရပ်ဖစ်-လှေ(M12)
PECVD လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် Wafer Carrier စနစ်
▶ ဂရပ်ဖစ်လှေ (CT-ဒီဇိုင်း) M10/M12 လုပ်ငန်းစဉ်
• အထူးဒီဇိုင်း အယူအဆ
▶ ဂရပ်ဖစ်လှေ (CT-ဒီဇိုင်း) M4/M6 လုပ်ငန်းစဉ်
▶ စက်လှေ ဆက်စပ်ပစ္စည်းများ
▶ VERTICAL BOAT-161.7mm WAFER
▶ ဒေါင်လိုက်လှေ-၁၆၆ မီလီမီတာ WAFER
▶ VERTICAL BOAT-161.7mm၊ 166mm WAFER
Solar Cell Carrier နှင့် Metal TRC Carrier
အမျိုးအစား- အလိုအလျောက်စနစ်
WAFER အရွယ်အစား- ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
အသုံးပြုမှု : သယ်ဆောင်ရန် (ကက်ဆက်)
စွမ်းရည် : စာရွက် 100
PITCH : 4.76MM/5.953mm/6.35mm
အတိုင်းအတာ : 559×220×220MM ခန့်
712×260×260MM ခန့်
အားသာချက်- လေထု
ပစ္စည်း : မီးတောက်၊ ဘေးဘား- အလူမီနီယမ် (anodizing)
ဘေးထွက်ပြား-POM (Antistatic)
အောက်ခြေဘား-EPDM/PU/VITON (ASE) အဖုံး
TRC-METAL CARRIER (U'SER လိုင်း)
TRC-METAL CARRIER (U'SER လိုင်း)
TRC-METAL CARRIER (U'SER လိုင်း)
ရေချိုးခန်းပန်းကန်ပြားနှင့် IMPLANT၊ CARRIER
