ဖော်ပြချက်
MOCVD အတွက် Semicorex ၏ SiC Wafer Susceptors (သတ္တု-အော်ဂဲနစ် ဓာတုအငွေ့များ ပေါက်ရောက်ခြင်း) သည် epitaxial အစစ်ခံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များ၏ တိကျသောတောင်းဆိုချက်များကို ပြည့်မီစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ အရည်အသွေးမြင့် Silicon Carbide (SiC) ကို အသုံးပြု၍ အဆိုပါ susceptor များသည် အပူချိန်မြင့်ပြီး သံချေးတက်သော ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ပြိုင်ဘက်ကင်းသော တာရှည်ခံမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများ၏ တိကျပြီး ထိရောက်သော ကြီးထွားမှုကို အာမခံပါသည်။
အဓိကအင်္ဂါရပ်များ-
1. သာလွန်ကောင်းမွန်သော ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများအဆင့်မြင့် SiC မှတည်ဆောက်ထားသော ကျွန်ုပ်တို့၏ wafer susceptors များသည် ထူးခြားသောအပူစီးကူးမှုနှင့် ဓာတုဗေဒခံနိုင်ရည်ကိုပြသသည်။ ဤဂုဏ်သတ္တိများသည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များအပါအဝင် MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ ပြင်းထန်သောအခြေအနေများကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေပြီး အသက်ရှည်မှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော စွမ်းဆောင်ရည်ကို ရရှိစေပါသည်။
2. Epitaxial Deposition တွင် တိကျမှုကျွန်ုပ်တို့၏ SiC Wafer Susceptors များ၏ တိကျသောအင်ဂျင်နီယာသည် wafer မျက်နှာပြင်တစ်လျှောက် တူညီသောအပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုကို သေချာစေပြီး တစ်သမတ်တည်းနှင့် အရည်အသွေးမြင့် epitaxial အလွှာကြီးထွားမှုကို ကူညီပေးသည်။ အကောင်းမွန်ဆုံး လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများရှိသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာများ ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် ဤတိကျမှုသည် အရေးကြီးပါသည်။
3. ပိုမိုကောင်းမွန်သောကြာရှည်ခံမှုခိုင်ခံ့သော SiC ပစ္စည်းသည် ပြင်းထန်သော လုပ်ငန်းစဉ်ပတ်ဝန်းကျင်များနှင့် ဆက်တိုက်ထိတွေ့မှုအောက်တွင်ပင် ဝတ်ဆင်မှုနှင့် ပျက်စီးယိုယွင်းမှုကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။ ဤကြာရှည်ခံမှုသည် susceptor အစားထိုးမှုအကြိမ်ရေကို လျော့နည်းစေပြီး စက်ရပ်ချိန်နှင့် လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချပေးသည်။
လျှောက်လွှာများ
MOCVD အတွက် Semicorex ၏ SiC Wafer Susceptors များသည် အောက်ပါတို့အတွက် အထူးသင့်လျော်ပါသည်။
• ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများ၏ Epitaxial ကြီးထွားမှု
• အပူချိန်မြင့်သော MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်များ
• GaN၊ AlN နှင့် အခြားသော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်း။
• အဆင့်မြင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်မှု အသုံးချမှု
CVD-SIC Coatings ၏ အဓိက Specifications-
အကျိုးကျေးဇူးများ
•မြင့်မားသောတိကျမှု: တစ်ပြေးညီနှင့် အရည်အသွေးမြင့် epitaxial ကြီးထွားမှုကို သေချာစေသည်။
•ကြာရှည်ခံသောစွမ်းဆောင်ရည်- ထူးခြားသောကြာရှည်ခံမှုသည် အစားထိုးအကြိမ်ရေကို လျော့နည်းစေသည်။
• ကုန်ကျစရိတ်-ထိရောက်မှု: စက်ရပ်ချိန်နှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု လျှော့ချခြင်းဖြင့် လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို လျှော့ချပေးသည်။
•ဘက်စုံ: အမျိုးမျိုးသော MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီရန် စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်သည်။