Semicera မှ Solid SiC Focus Ring သည် အဆင့်မြင့် semiconductor ထုတ်လုပ်မှု၏ လိုအပ်ချက်များကို ဖြည့်ဆည်းရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော နောက်ဆုံးပေါ်အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုမှထုတ်လုပ်သည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC)၊ ဤ focus ring သည် အထူးသဖြင့် semiconductor လုပ်ငန်းတွင် ကျယ်ပြန့်သော applications များအတွက် စံပြဖြစ်သည်။CVD SiC လုပ်ငန်းစဉ်များplasma etching နှင့်အိုင်စီပီRIE (Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching)။ ၎င်း၏ထူးခြားသောဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်၊ မြင့်မားသောအပူတည်ငြိမ်မှုနှင့်သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုအတွက်လူသိများသောကြောင့်၎င်းသည်စိတ်ဖိစီးမှုမြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်တွင်ကြာရှည်စွာစွမ်းဆောင်ရည်ကိုသေချာစေသည်။
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာတွင်waferစီမံဆောင်ရွက်ခြင်း၊ Solid SiC Focus Rings သည် ခြောက်သွေ့သော etching နှင့် wafer etching applications များအတွင်း တိကျသော etching ကို ထိန်းသိမ်းရာတွင် အရေးကြီးပါသည်။ SiC focus ring သည် plasma etching machine operations ကဲ့သို့သော လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း ပလာစမာကို အာရုံစိုက်ရာတွင် ကူညီပေးပြီး ဆီလီကွန် wafers များကို ထွင်းထုခြင်းအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။ အစိုင်အခဲ SiC ပစ္စည်းသည် တိုက်စားမှုဒဏ်ကို ပြိုင်ဘက်ကင်းစွာ ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် မြင့်မားသောထွက်အားကို ထိန်းသိမ်းထားရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အရာမှာ သင်၏စက်ပစ္စည်း၏ တာရှည်ခံမှုနှင့် စက်ရပ်ချိန်ကို လျှော့ချပေးသည်။
Semicera မှ Solid SiC Focus Ring ကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ကြုံတွေ့ရလေ့ရှိသော ပြင်းထန်သောအပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သောဓာတုပစ္စည်းများကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ၎င်းကို တိကျမှုမြင့်မားသော အလုပ်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် အထူးပြုလုပ်ထားသည်။CVD SiC အပေါ်ယံပိုင်းသန့်ရှင်းမှုနှင့် တာရှည်ခံမှုတို့သည် အရေးကြီးဆုံးဖြစ်သည်။ အပူဒဏ်ကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ဤထုတ်ကုန်သည် အပူချိန်မြင့်မားသောကာလအတွင်း ထိတွေ့မှုအပါအဝင် အပြင်းထန်ဆုံးအခြေအနေများအောက်တွင် တစ်သမတ်တည်းနှင့် တည်ငြိမ်သောစွမ်းဆောင်ရည်ကို အာမခံပါသည်။waferetching လုပ်ငန်းစဉ်များ။
တိကျမှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုတို့သည် အဓိကကျသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းအပလီကေးရှင်းများတွင်၊ Solid SiC Focus Ring သည် etching လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ အလုံးစုံထိရောက်မှုကို မြှင့်တင်ရာတွင် အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ ၎င်း၏ ကြံ့ခိုင်ပြီး စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသော ဒီဇိုင်းသည် လွန်ကဲသောအခြေအနေများအောက်တွင် လုပ်ဆောင်နိုင်သော သန့်စင်မြင့်မားသော အစိတ်အပိုင်းများ လိုအပ်သော စက်မှုလုပ်ငန်းအတွက် ပြီးပြည့်စုံသော ရွေးချယ်မှုဖြစ်စေသည်။ အသုံးပြုသည်ဖြစ်စေCVD SiC လက်စွပ်အပလီကေးရှင်းများ သို့မဟုတ် plasma etching လုပ်ငန်းစဉ်၏ တစ်စိတ်တစ်ပိုင်းအနေဖြင့်၊ Semicera ၏ Solid SiC Focus Ring သည် သင့်စက်ကိရိယာများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် ကူညီပေးပြီး သင့်ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များ တောင်းဆိုသည့် သက်တမ်းကြာရှည်မှုနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို ပေးဆောင်သည်။
အဓိကအင်္ဂါရပ်များ-
• သာလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်နှင့် မြင့်မားသော အပူတည်ငြိမ်မှု
• သက်တမ်းတိုးရန်အတွက် သန့်စင်မြင့် Solid SiC ပစ္စည်း
• plasma etching၊ ICP RIE နှင့် dry etching applications များအတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်သည်။
• အထူးသဖြင့် CVD SiC လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် wafer etching အတွက် ပြီးပြည့်စုံသည်။
• လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်နှင့် မြင့်မားသောအပူချိန်များတွင် ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်
• ဆီလီကွန် wafer များကို ထွင်းထုရာတွင် တိကျမှုနှင့် ထိရောက်မှုကို သေချာစေသည်။
အပလီကေးရှင်းများ
• တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုတွင် CVD SiC လုပ်ငန်းစဉ်များ
• Plasma etching နှင့် ICP RIE စနစ်များ
• Dry etching နှင့် wafer etching လုပ်ငန်းစဉ်များ
• Plasma etching machines များတွင် ခြစ်ခြင်းနှင့် အစစ်ခံခြင်း။
• ဆပ်ပြာကွင်းများနှင့် CVD SiC လက်စွပ်များအတွက် တိကျသောအစိတ်အပိုင်းများ