TaC coated epitaxial wafer သယ်ဆောင်သူများစွမ်းဆောင်ရည်မြင့် optoelectronic စက်များ၊ ပါဝါကိရိယာများ၊ အာရုံခံကိရိယာများနှင့် အခြားနယ်ပယ်များ ပြင်ဆင်မှုတွင် အများအားဖြင့် အသုံးပြုကြသည်။ ဒီepitaxial wafer သယ်ဆောင်အစစ်ခံခြင်းကို ရည်ညွှန်းသည်။TaCနောက်ဆက်တွဲကိရိယာပြင်ဆင်မှုအတွက် တိကျသောဖွဲ့စည်းပုံနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော wafer ကိုဖွဲ့စည်းရန် ပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်အတွင်း အလွှာပေါ်တွင် ပါးလွှာသောရုပ်ရှင်။
Chemical vapor deposition (CVD) နည်းပညာကို ပြင်ဆင်ရာတွင် အများအားဖြင့် အသုံးပြုကြသည်။TaC coated epitaxial wafer သယ်ဆောင်သူများ. မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် သတ္တုအော်ဂဲနစ်ရှေ့ပြေးနမိတ်များနှင့် ကာဗွန်အရင်းအမြစ်ဓာတ်ငွေ့များကို တုံ့ပြန်ခြင်းဖြင့်၊ TaC ဖလင်ကို ပုံဆောင်ခဲအလွှာ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် အပ်နှံနိုင်ပါသည်။ ဤရုပ်ရှင်သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော လျှပ်စစ်၊ အလင်းနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ ရှိနိုင်ပြီး အမျိုးမျိုးသော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် စက်ပစ္စည်းများ ပြင်ဆင်မှုအတွက် သင့်လျော်သည်။
Semicera သည် အစိတ်အပိုင်းများနှင့် သယ်ဆောင်သူများအတွက် အထူးပြု တန်တလမ်ကာဗိုက် (TaC) အပေါ်ယံပိုင်းကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။Semicera ဦးဆောင်သော coating process သည် tantalum carbide (TaC) coatings များကို မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ အပူချိန်မြင့်မားမှုနှင့် ဓာတုခံနိုင်ရည်မြင့်မားမှုကို ရရှိစေရန်၊ SIC/GAN crystals နှင့် EPI အလွှာများ၏ ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးသည် (Graphite coated TaC susceptor) နှင့် အဓိက ဓာတ်ပေါင်းဖို အစိတ်အပိုင်းများ၏ သက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးခြင်း။ tantalum carbide TaC coating ကိုအသုံးပြုခြင်းသည် အစွန်းပြဿနာကိုဖြေရှင်းရန်နှင့် crystal ကြီးထွားမှုအရည်အသွေးကိုတိုးတက်စေရန်ဖြစ်ပြီး Semicera သည် tantalum carbide coating technology (CVD) ကို နိုင်ငံတကာအဆင့်မြင့်အဆင့်သို့ရောက်ရှိအောင်ဖြေရှင်းနိုင်ခဲ့သည်။
နှစ်ပေါင်းများစွာ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ပြီးနောက်၊ Semicera သည် နည်းပညာကို သိမ်းပိုက်နိုင်ခဲ့သည်။CVD TaCR&D ဌာန၏ ပူးပေါင်းကြိုးပမ်းမှုဖြင့်။ SiC wafers ၏ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်တွင်ချို့ယွင်းချက်များဖြစ်ပေါ်ရန်လွယ်ကူသည်၊ သို့သော်အသုံးပြုပြီးနောက်TaCကွာခြားချက်က သိသာပါတယ်။ အောက်တွင်ဖော်ပြထားသော wafers များနှင့် TaC မပါသော wafers များအပြင် တစ်ခုတည်းသော crystal ကြီးထွားမှုအတွက် Simicera ၏အစိတ်အပိုင်းများကို နှိုင်းယှဉ်ထားသည်။
TaC နှင့် မပါဘဲ
TaC သုံးပြီးနောက် (ညာဘက်)
ထို့အပြင်၊ Semicera ၏TaC-coated ထုတ်ကုန်များဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း ပိုကြာပြီး အပူချိန်မြင့်သော ခံနိုင်ရည်အား ပြသသည်။SiC အပေါ်ယံပိုင်း.ဓါတ်ခွဲခန်း တိုင်းတာမှုများသည် ကျွန်ုပ်တို့၏ သရုပ်ပြမှုဖြစ်သည်။TaC အပေါ်ယံပိုင်းအပူချိန် 2300 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ အချိန်ကြာမြင့်စွာ လုပ်ဆောင်နိုင်သည်။ အောက်တွင် ကျွန်ုပ်တို့၏နမူနာအချို့သည် ဥပမာများဖြစ်သည်။
