TaC Coated Plate သည် အရည်အသွေးမြင့် ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများမှ တိကျစွာ ဖန်တီးထားသော SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် အထူးပြုထားသော disc တစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ထူးခြားသောသန့်ရှင်းမှုနှင့် ခိုင်ခံ့မှုအတွက် လူသိများသော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ခုဖြစ်သည့် တန်တလမ်ကာဘိုက် (TaC) ဖြင့် ၎င်း၏မျက်နှာပြင်ကို စေ့စေ့စပ်စပ် ဖုံးအုပ်ထားသည်။ TaC coating သည် ပန်းကန်ပြား၏ တာရှည်ခံမှုနှင့် မြင့်မားသောအပူချိန်တို့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေကာ SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ တောင်းဆိုမှုအခြေအနေများအတွက် စံပြဖြစ်စေသည်။
ဤဆန်းသစ်တီထွင်ထားသော TaC Coated Plate သည် အရည်အသွေးမြင့် ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းများမှ တိကျစွာ ဖန်တီးထားသော SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် အထူးပြုထားသော disc တစ်ခုဖြစ်သည်။ TaC Coated Plate မျက်နှာပြင်သည် ၎င်း၏ထူးခြားသန့်ရှင်းမှုနှင့် ခိုင်ခံ့မှုအတွက် လူသိများသော ဒြပ်ပေါင်းတစ်ခုဖြစ်သည့် တန်တလမ်ကာဘိုက် (TaC) ဖြင့် စေ့စေ့စပ်စပ် ဖုံးအုပ်ထားသည်။ SiC epitaxial ကြီးထွားမှုအဆင့်အမျိုးမျိုးတွင် wafers သယ်ဆောင်ရန်အတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရသော platform တစ်ခုအဖြစ် ဆောင်ရွက်ပါသည်။ ၎င်း၏သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသောဂရပ်ဖိုက်အခြေခံသည် တည်ငြိမ်ပြီး ပြတ်သားသောမျက်နှာပြင်ကိုပေးစွမ်းပြီး TaC အပေါ်ယံပိုင်းသည် ဓာတုတုံ့ပြန်မှုနှင့် ဝတ်ဆင်မှုမှကာကွယ်မှုအပိုအလွှာတစ်ခုထပ်ဖြည့်ထားသည်။
Semicခေတ်TaC Coated Plate သည် သုံးစွဲသူများ၏ တိကျသောလိုအပ်ချက်များနှင့်အညီ ၎င်းတို့၏ SiC epitaxial စနစ်များနှင့် အကောင်းဆုံးစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် လိုက်ဖက်မှုရှိစေရန် အာမခံပါသည်။ အရွယ်အစား၊ ပုံသဏ္ဍာန် သို့မဟုတ် အခြားသတ်မှတ်ချက်များဖြစ်စေ၊ ဤပန်းကန်ပြားများသည် အပလီကေးရှင်းတိုင်း၏ ထူးခြားသောလိုအပ်ချက်များကို ဖြည့်ဆည်းပေးသည်။
TaC နှင့် မပါဘဲ
TaC သုံးပြီးနောက် (ညာဘက်)
ထို့အပြင်၊ Semicera ၏TaC-coated ထုတ်ကုန်များဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း ပိုကြာပြီး အပူချိန်မြင့်သော ခံနိုင်ရည်အား ပြသသည်။SiC အပေါ်ယံပိုင်း.ဓါတ်ခွဲခန်း တိုင်းတာမှုများသည် ကျွန်ုပ်တို့၏ သရုပ်ပြမှုဖြစ်သည်။TaC အပေါ်ယံပိုင်းအချိန်ကြာမြင့်စွာ အပူချိန် 2300 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ ဆက်တိုက်လုပ်ဆောင်နိုင်သည်။ အောက်တွင် ကျွန်ုပ်တို့၏နမူနာအချို့သည် ဥပမာများဖြစ်သည်။
