တန်တလမ်ကာဘိုင်ဖြင့် အုပ်ထားသော ဂရပ်ဖိုက်စာရွက်ပါးလွှာသောအလွှာရှိသော ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းဖြစ်သည်။တန်တလမ်ကာဗိုက်substrate ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင်။ တန်တလမ်ကာဗိုက်၏ပါးလွှာသောအလွှာသည် အများအားဖြင့် ဂရပ်ဖိုက်အလွှာ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအငွေ့ထုတ်ခြင်း (PVD) သို့မဟုတ် ဓာတုအခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်း (CVD) ကဲ့သို့သော နည်းပညာများဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။ ဤအလွှာသည် မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်၊ ချေးခံနိုင်ရည်နှင့် မြင့်မားသော အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုစသည့် ကောင်းမွန်သော ဂုဏ်သတ္တိများရှိသည်။
Semicera သည် အစိတ်အပိုင်းများနှင့် သယ်ဆောင်သူများအတွက် အထူးပြု တန်တလမ်ကာဗိုက် (TaC) အပေါ်ယံပိုင်းကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။Semicera ဦးဆောင်သော coating process သည် tantalum carbide (TaC) coatings များကို မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ အပူချိန်မြင့်မားမှုနှင့် ဓာတုခံနိုင်ရည်မြင့်မားမှုကို ရရှိစေရန်၊ SIC/GAN crystals နှင့် EPI အလွှာများ၏ ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးသည် (Graphite coated TaC susceptor) နှင့် အဓိက ဓာတ်ပေါင်းဖို အစိတ်အပိုင်းများ၏ သက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးခြင်း။ tantalum carbide TaC coating ကိုအသုံးပြုခြင်းသည် အစွန်းပြဿနာကိုဖြေရှင်းရန်နှင့် crystal ကြီးထွားမှုအရည်အသွေးကိုတိုးတက်စေရန်ဖြစ်ပြီး Semicera သည် tantalum carbide coating technology (CVD) ကို နိုင်ငံတကာအဆင့်မြင့်အဆင့်သို့ရောက်ရှိအောင်ဖြေရှင်းနိုင်ခဲ့သည်။
နှစ်ပေါင်းများစွာ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ပြီးနောက်၊ Semicera သည် နည်းပညာကို သိမ်းပိုက်နိုင်ခဲ့သည်။CVD TaCR&D ဌာန၏ ပူးပေါင်းကြိုးပမ်းမှုဖြင့်။ SiC wafers ၏ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်တွင်ချို့ယွင်းချက်များဖြစ်ပေါ်ရန်လွယ်ကူသည်၊ သို့သော်အသုံးပြုပြီးနောက်TaCကွာခြားချက်က သိသာပါတယ်။ အောက်တွင်ဖော်ပြထားသော wafers များနှင့် TaC မပါသော wafers များအပြင် တစ်ခုတည်းသော crystal ကြီးထွားမှုအတွက် Simicera ၏အစိတ်အပိုင်းများကို နှိုင်းယှဉ်ထားသည်။
tantalum carbide coated graphite sheet ၏ အဓိကအားသာချက်များမှာ-
1. မြင့်မားသောအပူချိန်ခံနိုင်ရည်- Tantalum carbide သည် မြင့်မားသော အရည်ပျော်မှတ်နှင့် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုရှိပြီး၊ coated graphite sheet ကို မြင့်မားသောအပူချိန်ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုရန်သင့်လျော်စေသည်။
2. Corrosion resistance- Tantalum carbide coating သည် ဓာတုအဆိပ်ဖြစ်စေသော အရာများစွာ၏ တိုက်စားမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ပစ္စည်း၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးပါသည်။
3. မြင့်မားသော မာကျောမှု- တန်တလမ် ကာဘိုက်ပါးလွှာသော အလွှာ၏ မြင့်မားသော မာကျောမှုသည် ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်အား ကောင်းမွန်စေပြီး မြင့်မားသော ခံနိုင်ရည်ရှိရန် လိုအပ်သော အသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် သင့်လျော်သည်။
4. ဓာတုဗေဒတည်ငြိမ်မှု- Tantalum carbide အပေါ်ယံပိုင်းသည် ဓာတုချေးစားခြင်းအတွက် အလွန်ကောင်းမွန်သော တည်ငြိမ်မှုရှိပြီး အချို့သော သံချေးတက်သည့်မီဒီယာများတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်သည်။
TaC နှင့် မပါဘဲ
TaC သုံးပြီးနောက် (ညာဘက်)
ထို့အပြင်၊ Semicera ၏TaC-coated ထုတ်ကုန်များဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း ပိုကြာပြီး အပူချိန်မြင့်သော ခံနိုင်ရည်အား ပြသသည်။SiC အပေါ်ယံပိုင်း.ဓါတ်ခွဲခန်း တိုင်းတာမှုများသည် ကျွန်ုပ်တို့၏ သရုပ်ပြမှုဖြစ်သည်။TaC အပေါ်ယံပိုင်းအချိန်ကြာမြင့်စွာ အပူချိန် 2300 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ ဆက်တိုက်လုပ်ဆောင်နိုင်သည်။ အောက်တွင် ကျွန်ုပ်တို့၏နမူနာအချို့သည် ဥပမာများဖြစ်သည်။
