Semicera သည် အစိတ်အပိုင်းများနှင့် သယ်ဆောင်သူများအတွက် အထူးပြု တန်တလမ်ကာဗိုက် (TaC) အပေါ်ယံပိုင်းကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။Semicera ဦးဆောင်သော coating process သည် tantalum carbide (TaC) coatings များကို မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ အပူချိန်မြင့်မားမှုနှင့် ဓာတုခံနိုင်ရည်မြင့်မားမှုကို ရရှိစေရန်၊ SIC/GAN crystals နှင့် EPI အလွှာများ၏ ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးသည် (Graphite coated TaC susceptor) နှင့် အဓိက ဓာတ်ပေါင်းဖို အစိတ်အပိုင်းများ၏ သက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးခြင်း။ tantalum carbide TaC coating ကိုအသုံးပြုခြင်းသည် အစွန်းပြဿနာကိုဖြေရှင်းရန်နှင့် crystal ကြီးထွားမှုအရည်အသွေးကိုတိုးတက်စေရန်ဖြစ်ပြီး Semicera သည် tantalum carbide coating technology (CVD) ကို နိုင်ငံတကာအဆင့်မြင့်အဆင့်သို့ရောက်ရှိအောင်ဖြေရှင်းနိုင်ခဲ့သည်။
Graphite သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်မြင့်ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သော်လည်း မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် အလွယ်တကူ ဓာတ်ပြုနိုင်သည်။ inert gas ပါသော လေဟာနယ်မီးဖိုများတွင်ပင်၊ ၎င်းသည် နှေးကွေးသော ဓာတ်တိုးမှုကို ခံနေရဆဲဖြစ်သည်။ CVD tantalum carbide (TaC) coating ကိုအသုံးပြုခြင်းဖြင့် ဂရပ်ဖိုက်အလွှာကို ထိထိရောက်ရောက်ကာကွယ်နိုင်ပြီး graphite ကဲ့သို့ အပူချိန်မြင့်မားသော ခုခံမှုကိုပေးစွမ်းနိုင်သည်။ TaC သည် ပြင်းထန်သော အပူချိန်တွင် အာဂွန် သို့မဟုတ် ဟိုက်ဒရိုဂျင်ကဲ့သို့သော ဓာတ်ငွေ့များနှင့် မတုံ့ပြန်နိုင်ဟု ဆိုလိုသည်။စုံစမ်းရေးTantalum Carbide CVD Coating EPI Susceptor အခု!
နှစ်ပေါင်းများစွာ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ပြီးနောက်၊ Semicera သည် နည်းပညာကို သိမ်းပိုက်နိုင်ခဲ့သည်။CVD TaCR&D ဌာန၏ ပူးပေါင်းကြိုးပမ်းမှုဖြင့်။ SiC wafers ၏ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်တွင်ချို့ယွင်းချက်များဖြစ်ပေါ်ရန်လွယ်ကူသည်၊ သို့သော်အသုံးပြုပြီးနောက်TaCကွာခြားချက်က သိသာပါတယ်။ အောက်တွင်ဖော်ပြထားသော wafers များနှင့် TaC မပါသော wafers များအပြင် တစ်ခုတည်းသော crystal ကြီးထွားမှုအတွက် Simicera ၏အစိတ်အပိုင်းများကို နှိုင်းယှဉ်ထားသည်။
TaC နှင့် မပါဘဲ
TaC သုံးပြီးနောက် (ညာဘက်)
ထို့အပြင်၊ Semicera ၏TaC-coated ထုတ်ကုန်များဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း ပိုကြာပြီး အပူချိန်မြင့်သော ခံနိုင်ရည်အား ပြသသည်။SiC အပေါ်ယံပိုင်း.ဓါတ်ခွဲခန်း တိုင်းတာမှုများသည် ကျွန်ုပ်တို့၏ သရုပ်ပြမှုဖြစ်သည်။TaC အပေါ်ယံပိုင်းအချိန်ကြာမြင့်စွာ အပူချိန် 2300 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ ဆက်တိုက်လုပ်ဆောင်နိုင်သည်။ အောက်တွင် ကျွန်ုပ်တို့၏နမူနာအချို့သည် ဥပမာများဖြစ်သည်။
