Wafer Bonding နည်းပညာ

MEMS စီမံဆောင်ရွက်ခြင်း - Bonding- တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အသုံးချခြင်းနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်၊ Semicera စိတ်ကြိုက်ပြုပြင်ထားသော ဝန်ဆောင်မှု

 

မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်နှင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်လုပ်ငန်းများတွင် MEMS (မိုက်ခရို-လျှပ်စစ်စက်မှုစနစ်) နည်းပညာသည် ဆန်းသစ်တီထွင်မှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်စက်ပစ္စည်းများကို မောင်းနှင်ပေးသည့် အဓိကနည်းပညာများထဲမှတစ်ခုဖြစ်လာသည်။ သိပ္ပံနှင့်နည်းပညာများ တိုးတက်လာသည်နှင့်အမျှ MEMS နည်းပညာကို အာရုံခံကိရိယာများ၊ actuators၊ optical ကိရိယာများ၊ ဆေးဘက်ဆိုင်ရာပစ္စည်းများ၊ မော်တော်ယာဥ်အီလက်ထရွန်းနစ်နှင့် အခြားနယ်ပယ်များတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုလာကာ ခေတ်မီနည်းပညာ၏ မရှိမဖြစ်အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်လာသည်။ ဤနယ်ပယ်များတွင်၊ ချိတ်ဆက်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ် (Bonding) သည် MEMS လုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် အဓိကခြေလှမ်းအဖြစ်၊ စက်၏စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုတွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပါသည်။

 

Bonding သည် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ သို့မဟုတ် ဓာတုဗေဒနည်းဖြင့် နှစ်ခု သို့မဟုတ် နှစ်ခုထက်ပိုသော ပစ္စည်းများကို ခိုင်မာစွာ ပေါင်းစပ်ထားသည့် နည်းပညာတစ်ခုဖြစ်သည်။ အများအားဖြင့်၊ တည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာ ခိုင်မာမှုနှင့် လုပ်ငန်းဆိုင်ရာ နားလည်သဘောပေါက်မှုရရှိရန် MEMS စက်များတွင် ချိတ်ဆက်ခြင်းဖြင့် မတူညီသော ပစ္စည်းအလွှာများကို ချိတ်ဆက်ရန် လိုအပ်ပါသည်။ MEMS စက်ပစ္စည်းများ၏ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ ချိတ်ဆက်ခြင်းသည် ချိတ်ဆက်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုသာမကဘဲ အပူတည်ငြိမ်မှု၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကြံ့ခိုင်မှု၊ လျှပ်စစ်စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် စက်ပစ္စည်း၏ အခြားရှုထောင့်များကိုလည်း တိုက်ရိုက်သက်ရောက်သည်။

 

မြင့်မားသောတိကျသော MEMS လုပ်ဆောင်ခြင်းတွင်၊ စက်၏စွမ်းဆောင်ရည်ကိုထိခိုက်စေသောချို့ယွင်းချက်တစ်စုံတစ်ရာကိုရှောင်ရှားနေစဉ်တွင်၊ ချည်နှောင်ခြင်းနည်းပညာသည် ပစ္စည်းများကြားတွင်နီးကပ်စွာချိတ်ဆက်မှုကိုသေချာစေရန်လိုအပ်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ ချည်နှောင်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကို တိကျသောထိန်းချုပ်မှုနှင့် အရည်အသွေးမြင့် ဆက်စပ်ပစ္စည်းများသည် နောက်ဆုံးထုတ်ကုန်စက်မှုလုပ်ငန်းစံနှုန်းများနှင့်ကိုက်ညီကြောင်း သေချာစေရန်အတွက် အဓိကအချက်များဖြစ်သည်။

 

1-210H11H51U40 

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် MEMS ချည်နှောင်ခြင်းလျှောက်လွှာ

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင်၊ MEMS နည်းပညာကို အာရုံခံကိရိယာများ၊ အရှိန်မြှင့်မီတာများ၊ ဖိအားအာရုံခံကိရိယာများနှင့် gyroscopes ကဲ့သို့သော အသေးစားကိရိယာများထုတ်လုပ်ရာတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုသည်။ အသေးစား၊ ပေါင်းစပ်ထားသော၊ နှင့် ဉာဏ်ရည်ထက်မြက်သော ထုတ်ကုန်များအတွက် ၀ယ်လိုအား တိုးလာသည်နှင့်အမျှ MEMS စက်ပစ္စည်းများ၏ တိကျမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်လိုအပ်ချက်များလည်း တိုးလာပါသည်။ ဤအပလီကေးရှင်းများတွင် ထိရောက်ပြီး တည်ငြိမ်သောလုပ်ဆောင်ချက်များရရှိရန် ဆီလီကွန်ဝေဖာများ၊ ဖန်၊ သတ္တုများနှင့် ပိုလီမာများကဲ့သို့သော မတူညီသောပစ္စည်းများကို ချိတ်ဆက်ရန်အတွက် ချည်နှောင်နည်းပညာကို အသုံးပြုပါသည်။

 

1. ဖိအားအာရုံခံကိရိယာများနှင့် အရှိန်မြှင့်ကိရိယာများ
မော်တော်ကားများ၊ အာကာသယာဉ်များ၊ လူသုံးအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများ စသည်တို့တွင် MEMS ဖိအားအာရုံခံကိရိယာများနှင့် အရှိန်မြှင့်ကိရိယာများကို တိုင်းတာခြင်းနှင့် ထိန်းချုပ်မှုစနစ်များတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။ မြင့်မားသော အာရုံခံနိုင်စွမ်းနှင့် တိကျမှုသေချာစေရန် ဆီလီကွန်ချစ်ပ်များနှင့် အာရုံခံဒြပ်စင်များကို ချိတ်ဆက်ရန်အတွက် ချိတ်ဆက်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကို အသုံးပြုပါသည်။ ဤအာရုံခံကိရိယာများသည် လွန်ကဲသောပတ်ဝန်းကျင်အခြေအနေများကို ခံနိုင်ရည်ရှိရမည်ဖြစ်ပြီး အရည်အသွေးမြင့် ချိတ်ဆက်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များသည် အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုကြောင့် ပစ္စည်းများကို ဖယ်ထုတ်ခြင်း သို့မဟုတ် ချွတ်ယွင်းခြင်းမှ ထိရောက်စွာ ဟန့်တားနိုင်သည်။

 

2. Micro-optical စက်များနှင့် MEMS optical ခလုတ်များ
အလင်းပြန်ဆက်သွယ်ရေးနှင့် လေဆာကိရိယာများနယ်ပယ်တွင် MEMS အလင်းပြကိရိယာများနှင့် အလင်းခလုတ်များသည် အရေးကြီးသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ ချိတ်ဆက်မှုနည်းပညာကို ဆီလီကွန်အခြေခံ MEMS စက်များနှင့် optical fibers နှင့် mirrors ကဲ့သို့သော အရာများအကြား တိကျသောချိတ်ဆက်မှုရရှိစေရန်အတွက် optical signal transmission ၏ထိရောက်မှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေရန်အသုံးပြုပါသည်။ အထူးသဖြင့် မြင့်မားသော ကြိမ်နှုန်း၊ ကျယ်ပြန့်သော bandwidth နှင့် ခရီးဝေး ထုတ်လွှင့်မှုရှိသော application များတွင် စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသော ချိတ်ဆက်နည်းပညာသည် အရေးကြီးပါသည်။

 

3. MEMS gyroscopes နှင့် inertial အာရုံခံကိရိယာများ
MEMS gyroscopes နှင့် inertial အာရုံခံကိရိယာများကို အလိုအလျောက်မောင်းနှင်မှု၊ စက်ရုပ်များနှင့် အာကာသယာဉ်များကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့်စက်မှုလုပ်ငန်းများတွင် တိကျသောလမ်းကြောင်းပြခြင်းနှင့် နေရာချထားခြင်းအတွက် ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုကြသည်။ တိကျမှုမြင့်မားသော ချိတ်ဆက်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များသည် စက်ပစ္စည်းများ၏ ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို သေချာစေပြီး ရေရှည်လည်ပတ်မှု သို့မဟုတ် ကြိမ်နှုန်းမြင့်မားသောလည်ပတ်မှုအတွင်း စွမ်းဆောင်ရည်ကျဆင်းခြင်း သို့မဟုတ် ပျက်ကွက်ခြင်းတို့ကို ရှောင်ရှားနိုင်သည်။

 

MEMS လုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် ပေါင်းစပ်နည်းပညာ၏ အဓိကစွမ်းဆောင်ရည်လိုအပ်ချက်များ

MEMS လုပ်ဆောင်ခြင်းတွင်၊ ချိတ်ဆက်မှုလုပ်ငန်းစဉ်၏အရည်အသွေးသည် စက်၏စွမ်းဆောင်ရည်၊ အသက်နှင့်တည်ငြိမ်မှုကို တိုက်ရိုက်ဆုံးဖြတ်သည်။ MEMS စက်များသည် အမျိုးမျိုးသော အပလီကေးရှင်းအခြေအနေများတွင် အချိန်အကြာကြီး စိတ်ချယုံကြည်စွာ အလုပ်လုပ်နိုင်စေရန် သေချာစေရန်၊ ချိတ်ဆက်ခြင်းနည်းပညာသည် အောက်ပါသော့ချက်စွမ်းဆောင်ရည်ရှိရပါမည်။

1. မြင့်မားသောအပူတည်ငြိမ်မှု
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းရှိ အပလီကေးရှင်းပတ်ဝန်းကျင်အများအပြားတွင် အထူးသဖြင့် မော်တော်ကားများ၊ အာကာသယာဉ်များ စသည်တို့တွင် မြင့်မားသောအပူချိန်အခြေအနေများရှိသည်။ ဆက်စပ်ပစ္စည်း၏အပူတည်ငြိမ်မှုသည် အရေးကြီးပြီး ပျက်စီးယိုယွင်းမှုမရှိဘဲ အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

 

2. မြင့်မားသောဝတ်ဆင်ခုခံ
MEMS စက်များသည် များသောအားဖြင့် အသေးစားစက်မှုပုံစံများပါ၀င်ပြီး ရေရှည်တွင် ပွတ်တိုက်မှုနှင့် ရွေ့လျားမှုသည် ချိတ်ဆက်မှုအပိုင်းများကို နွမ်းစေနိုင်သည်။ ရေရှည်အသုံးပြုရာတွင် စက်၏တည်ငြိမ်မှုနှင့် ထိရောက်မှုကိုသေချာစေရန်အတွက် ချည်နှောင်ထားသောပစ္စည်းသည် အလွန်ကောင်းမွန်သောဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်ရှိရန် လိုအပ်ပါသည်။

 

3. မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ပစ္စည်းသန့်ရှင်းမှုနှင့်ပတ်သက်၍ အလွန်တင်းကျပ်သောလိုအပ်ချက်များရှိသည်။ သေးငယ်သော ညစ်ညမ်းမှု တစ်ခုခုသည် စက်ချို့ယွင်းခြင်း သို့မဟုတ် စွမ်းဆောင်ရည် ကျဆင်းခြင်းကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။ ထို့ကြောင့်၊ ချိတ်ဆက်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင်အသုံးပြုသည့်ပစ္စည်းများသည် လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း ပြင်ပညစ်ညမ်းမှုဒဏ်ကြောင့် စက်ပစ္စည်းကို ထိခိုက်ခြင်းမရှိကြောင်း သေချာစေရန်အတွက် အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှုရှိရပါမည်။

 

4. တိကျသောနှောင်ကြိုးတိကျမှု
MEMS စက်များသည် မကြာခဏ မိုက်ခရိုအဆင့် သို့မဟုတ် နာနိုမီတာအဆင့် လုပ်ဆောင်ခြင်း တိကျမှုပင် လိုအပ်သည်။ ချိတ်ဆက်မှုလုပ်ငန်းစဉ်သည် စက်ပစ္စည်း၏လုပ်ဆောင်ချက်နှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိခိုက်ခြင်းမရှိကြောင်း သေချာစေရန် ပစ္စည်းအလွှာတစ်ခုစီ၏ တိကျသောအထိုင်ချခြင်းကို သေချာစေရပါမည်။

 

1-210H11H304549 1-210GFZ0050-L

Anodic နှောင်ကြိုး

Anodic ချည်နှောင်ခြင်း
● ဆီလီကွန်ဝေဖာများနှင့် ဖန်၊ သတ္တုနှင့် ဖန်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် အလွိုင်း၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနှင့် ဖန်ကြားတွင် ချိတ်ဆက်အသုံးပြုနိုင်သည်
Eutectoid ချည်နှောင်ခြင်း-
● PbSn၊ AuSn၊ CuSn နှင့် AuSi ကဲ့သို့သော ပစ္စည်းများနှင့် သက်ဆိုင်ပါသည်။

ကော်ချိတ်-
● AZ4620 နှင့် SU8 ကဲ့သို့သော အထူးချည်နှောင်ထားသောကော်များအတွက် သင့်လျော်သော အထူးချည်နှောင်ထားသောကော်ကို အသုံးပြုပါ။
● 4 လက်မနှင့် 6 လက်မအထိ အသုံးပြုနိုင်သည်။

 

Semicera စိတ်ကြိုက် Bonding ဝန်ဆောင်မှု

MEMS လုပ်ဆောင်ခြင်းဆိုင်ရာ ဖြေရှင်းချက်များအား စက်မှုလုပ်ငန်းထိပ်တန်း ပံ့ပိုးသူတစ်ဦးအနေဖြင့်၊ Semicera သည် သုံးစွဲသူများအား တိကျသော၊ တည်ငြိမ်မှုမြင့်မားသော စိတ်ကြိုက်ချိတ်ဆက်ခြင်းဝန်ဆောင်မှုများကို ပေးဆောင်ရန် ကတိပြုပါသည်။ ဆီလီကွန်၊ ဖန်၊ သတ္တု၊ ကြွေထည်များ အစရှိသည်တို့ အပါအဝင် မတူညီသော ပစ္စည်းများ၏ ချိတ်ဆက်မှုတွင် ကျွန်ုပ်တို့၏ ချည်နှောင်ခြင်းနည်းပညာကို ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့် အသုံးပြုနိုင်ပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာနှင့် MEMS နယ်ပယ်များတွင် အဆင့်မြင့်အသုံးချမှုများအတွက် ဆန်းသစ်သောဖြေရှင်းချက်များကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။

 

Semicera တွင် ခေတ်မီသော စက်ပစ္စည်းများနှင့် နည်းပညာဆိုင်ရာအဖွဲ့များ ရှိပြီး သုံးစွဲသူများ၏ သီးသန့်လိုအပ်ချက်အရ စိတ်ကြိုက်ချိတ်ဆက်ခြင်းဖြေရှင်းချက်များကို ပံ့ပိုးပေးနိုင်ပါသည်။ မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ဖိအားမြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်အောက်တွင် ယုံကြည်စိတ်ချရသောချိတ်ဆက်မှုဖြစ်စေ သို့မဟုတ် တိကျသောမိုက်ခရိုကိရိယာချိတ်ဆက်ခြင်းဖြစ်စေ၊ Semicera သည် ထုတ်ကုန်တစ်ခုစီ၏အရည်အသွေးအမြင့်ဆုံးစံချိန်စံညွှန်းများနှင့်ကိုက်ညီကြောင်းသေချာစေရန်အတွက် ရှုပ်ထွေးသောလုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များကိုဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်သည်။

 

ကျွန်ုပ်တို့၏ စိတ်ကြိုက်ချည်နှောင်ခြင်းဝန်ဆောင်မှုသည် သမားရိုးကျချည်နှောင်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အကန့်အသတ်မရှိသော်လည်း၊ သတ္တုချည်နှောင်ခြင်း၊ အပူဖိသိပ်ခြင်းနှောင်ကြိုး၊ ကော်ဆက်ခြင်း နှင့် အခြားသော လုပ်ငန်းစဉ်များပါ၀င်သည်၊၊ ကွဲပြားခြားနားသောပစ္စည်းများ၊ တည်ဆောက်ပုံများနှင့် လျှောက်လွှာလိုအပ်ချက်များအတွက် ပရော်ဖက်ရှင်နယ်နည်းပညာပိုင်းဆိုင်ရာ ပံ့ပိုးမှုပေးစွမ်းနိုင်ပါသည်။ ထို့အပြင်၊ Semicera သည် ဖောက်သည်များ၏ နည်းပညာလိုအပ်ချက်တိုင်းကို တိကျစွာ အကောင်အထည်ဖော်နိုင်စေရန် သေချာစေရန် ရှေ့ပြေးပုံစံ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုမှ အစုလိုက်အပြုံလိုက် ထုတ်လုပ်မှုအထိ သုံးစွဲသူများအား ဝန်ဆောင်မှုအပြည့်ပေးနိုင်သည်။