Semicera သည် အရည်အသွေးမြင့် စိတ်ကြိုက် တင်ဆက်သည်။ဆီလီကွန် ကာဗိုက် cantilever paddlesဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်များကို မြှင့်တင်ရန် ဖန်တီးထားသည်။ ဆန်းသစ်သည်။SiC လှော်တက်ဒီဇိုင်းသည် ထူးခြားသောကြာရှည်ခံမှုနှင့် မြင့်မားသောအပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိမှုကို သေချာစေသည်၊ ၎င်းသည် စိန်ခေါ်သောအပူချိန်မြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းအတွက် မရှိမဖြစ်အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်လာသည်။
ဟိဆီလီကွန်ကာဗိုက်လှော်ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှု၏အရေးကြီးသောအဆင့်များအတွင်း ယုံကြည်စိတ်ချရသော wafer သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးကိုသေချာစေကာ ပြင်းထန်သောအပူသံသရာကိုခံနိုင်ရည်ရှိစေရန်တည်ဆောက်ထားသည်။ သာလွန်စက်မှုစွမ်းအားဖြင့်၊wafer လှေwafers များ ပျက်စီးနိုင်ခြေကို နည်းပါးစေပြီး အထွက်နှုန်း မြင့်မားပြီး တသမတ်တည်း ထုတ်လုပ်မှု အရည်အသွေးကို ဖြစ်စေသည်။
Semicera ၏ SiC လှော်တက်တွင် အဓိက တီထွင်ဆန်းသစ်မှုများထဲမှ တစ်ခုသည် ၎င်း၏ စိတ်ကြိုက်ဒီဇိုင်း ရွေးချယ်မှုများတွင် တည်ရှိသည်။ တိကျသောထုတ်လုပ်မှုလိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီစေရန် အံဝင်ခွင်ကျဖြစ်စေသော၊ လှော်တက်သည် အမျိုးမျိုးသော စက်ကိရိယာတပ်ဆင်မှုများနှင့် ပေါင်းစပ်ရာတွင် လိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေပြီး ၎င်းသည် ခေတ်မီထုတ်လုပ်ရေးလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် စံပြဖြေရှင်းချက်တစ်ခုဖြစ်စေသည်။ ပေါ့ပါးသော်လည်း ခိုင်ခံ့သောတည်ဆောက်မှု သည် ကိုင်တွယ်ရလွယ်ကူစေပြီး လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုရပ်နားချိန်ကို လျှော့ချပေးကာ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုတွင် ပိုမိုကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်ကို အထောက်အကူဖြစ်စေသည်။
၎င်း၏အပူနှင့်စက်မှုဂုဏ်သတ္တိများအပြင်, theဆီလီကွန်ကာဗိုက်လှော်ပြင်းထန်သော ဓာတုပတ်ဝန်းကျင်တွင်ပင် စိတ်ချယုံကြည်စွာ လုပ်ဆောင်နိုင်စေရန်အတွက် အထူးကောင်းမွန်သော ဓာတုခံနိုင်ရည်ကို ပေးစွမ်းသည်။ ၎င်းသည် ထွင်းခြင်း၊ ထုတ်ယူခြင်းနှင့် အပူချိန်မြင့်သည့် ကုသမှုများပါ၀င်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးပြုရန် အထူးသင့်လျော်ပြီး wafer လှေ၏ သမာဓိကို ထိန်းသိမ်းခြင်းသည် အရည်အသွေးမြင့် ထုတ်ကုန်များကို သေချာစေရန်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။
Recrystalized Silicon Carbide ၏ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ | |
ပစ္စည်းဥစ္စာ | ရိုးရိုးတန်ဖိုး |
အလုပ်အပူချိန် (°C) | 1600°C (အောက်ဆီဂျင်ပါရှိ)၊ 1700°C (ပတ်ဝန်းကျင်ကို လျှော့ချပေးသည်) |
SiC အကြောင်းအရာ | > 99.96% |
အခမဲ့ Si အကြောင်းအရာ | < 0.1% |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု | 2.60-2.70 g/cm3 |
ထင်ရှားသော porosity | < 16% |
Compression ခွန်အား | > 600 MPa |
အအေးဓာတ်ကို ကွေးညွှတ်နိုင်စွမ်းရှိသည်။ | 80-90 MPa (20°C) |
ပူပြင်းသော ကွေးညွှတ်ခွန်အား | 90-100 MPa (1400°C) |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု @1500°C | ၄.၇၀ ၁၀-6/°C |
အပူလျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း @1200°C | 23 W/m•K |
Elastic modulus | 240 GPa |
အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည် | အလွန့်အလွန်ကောင်းပါတယ်။ |