ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာ|SiC Wafers

အတိုချုံးဖော်ပြချက်-

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. သည် wafer နှင့် အဆင့်မြင့် semiconductor consumables များကို အထူးပြု ဦးဆောင်ပေးသွင်းသူဖြစ်သည်။ကျွန်ုပ်တို့သည် အရည်အသွေးမြင့်၊ ယုံကြည်စိတ်ချရသော၊ ဆန်းသစ်သောထုတ်ကုန်များကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်း၊ photovoltaic လုပ်ငန်းနှင့် အခြားဆက်စပ်နယ်ပယ်များသို့ ပေးအပ်ရန် ရည်စူးပါသည်။

ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်လိုင်းတွင် SiC/TaC coated ဂရပ်ဖိုက်ထုတ်ကုန်များနှင့် ကြွေထည်ပစ္စည်းများပါဝင်ပြီး ဆီလီကွန်ကာဗိုက်၊ ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်နှင့် အလူမီနီယံအောက်ဆိုဒ် အစရှိသည့် ပစ္စည်းအမျိုးမျိုးကို လွှမ်းခြုံထားသည်။

လက်ရှိတွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် 99.9999% SiC coating နှင့် 99.9% recrystallized silicon carbide ကို သန့်စင်ပေးသည့် တစ်ခုတည်းသော ထုတ်လုပ်သူဖြစ်သည်။အမြင့်ဆုံး SiC coating အရှည် 2640mm ရှိသည်။


ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ထုတ်ကုန်အမှတ်အသား

SiC-Wafer

Silicon carbide (SiC) တစ်ခုတည်းသော crystal material သည် ကြီးမားသော band ကွာဟချက် (~Si 3 ဆ)၊ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှု (~Si 3.3 ဆ သို့မဟုတ် GaAs 10 ဆ)၊ မြင့်မားသော အီလက်ထရွန် ရွှဲပြောင်းမှုနှုန်း (~Si 2.5 ဆ) မြင့်မားသော ဓာတ်ပြုမှု နယ်ပယ် (~Si 10 ကြိမ် သို့မဟုတ် GaAs 5 ကြိမ်) နှင့် အခြားထူးခြားသော လက္ခဏာများ။

SiC စက်ပစ္စည်းများသည် အပူချိန်မြင့်မားခြင်း၊ ဖိအားမြင့်ခြင်း၊ ကြိမ်နှုန်းမြင့်ခြင်း၊ ပါဝါမြင့်သော အီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများနှင့် အာကာသ၊ စစ်ရေး၊ နျူကလီးယားစွမ်းအင်စသည်ဖြင့် အစားထိုး၍မရသော အားသာချက်များရှိပြီး၊ လက်တွေ့တွင် မိရိုးဖလာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများ၏ ချို့ယွင်းချက်များအတွက် ပေါင်းစပ်ဖန်တီးထားသည်။ အသုံးချမှုများသည် တဖြည်းဖြည်းနှင့် ပါဝါတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း၏ အဓိကရေစီးကြောင်းဖြစ်လာသည်။

4H-SiC ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာ သတ်မှတ်ချက်များ

အကြောင်းအရာ 项目

သတ်မှတ်ချက်များ 参数

Polytype
晶型

4H -SiC

6H- SiC

အချင်း
晶圆直径

2 လက်မ |၃ လက်မ |4 လက်မ |၆လက်မ

2 လက်မ |၃ လက်မ |4 လက်မ |၆လက်မ

အထူ
厚度

330 μm ~ 350 μm

330 μm ~ 350 μm

လျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း
导电类型

N – အမျိုးအစား / Semi- insulating
N型导电片/ 半绝缘片

N – အမျိုးအစား / Semi- insulating
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2 (နိုက်ထရိုဂျင်)V (ဗန်နေဒီယမ်)

N2 (နိုက်ထရိုဂျင်) V (ဗန်နေဒီယမ်)

တိမ်းညွှတ်မှု
晶向

ဝင်ရိုးပေါ်တွင် <0001>
ဝင်ရိုးပိတ် <0001> off 4°

ဝင်ရိုးပေါ်တွင် <0001>
ဝင်ရိုးပိတ် <0001> off 4°

ခုခံနိုင်စွမ်း
电阻率

0.015 ~ 0.03 ohm-cm
(4H-N)

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(6H-N)

Micropipe Density (MPD)
微管密度

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

≤ 15 μm

ညွှတ် / အကွေ့
翘曲度

≤25 μm

≤25 μm

အပေါ်ယံ
表面处理

DSP/SSP

DSP/SSP

တန်း
产品等级

ထုတ်လုပ်မှု/သုတေသနအဆင့်

ထုတ်လုပ်မှု/သုတေသနအဆင့်

Crystal Stacking Sequence
堆积方式

ABCB

ABCABC

ရာဇမတ်ကွက် ကန့်သတ်ချက်
晶格参数

a=3.076A , c=10.053A

a=3.073A ၊ c=15.117A

ဥပမာ/eV(Band-gap)
禁带宽度

3.27 eV

3.02 eV

ε( Dielectric Constant )
介电常数

၉.၆

၉.၆၆

အလင်းယိုင်ညွှန်းကိန်း
折射率

n0 =2.719 ne =2.777

n0 = 2.707 ၊ ne = 2.755

6H-SiC Silicon Carbide အလွှာ သတ်မှတ်ချက်များ

အကြောင်းအရာ 项目

သတ်မှတ်ချက်များ 参数

Polytype
晶型

6H-SiC

အချင်း
晶圆直径

4 လက်မ |၆လက်မ

အထူ
厚度

350μm ~ 450μm

လျှပ်ကူးနိုင်စွမ်း
导电类型

N – အမျိုးအစား / Semi- insulating
N型导电片/ 半绝缘片

Dopant
掺杂剂

N2(နိုက်ထရိုဂျင်)
V (ဗန်နေဒီယမ်)

တိမ်းညွှတ်မှု
晶向

<0001> off 4°± 0.5°

ခုခံနိုင်စွမ်း
电阻率

0.02 ~ 0.1 ohm-cm
(6H-N အမျိုးအစား)

Micropipe Density (MPD)
微管密度

≤ 10/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

ညွှတ် / အကွေ့
翘曲度

≤25 μm

အပေါ်ယံ
表面处理

Si Face- CMP၊ Epi-Ready
C မျက်နှာ- Optical Polish

တန်း
产品等级

သုတေသနအဆင့်

Semicera အလုပ်နေရာ Semicera အလုပ်နေရာ ၂ စက်ကိရိယာ CNN လုပ်ဆောင်မှု၊ ဓာတုသန့်ရှင်းရေး၊ CVD အပေါ်ယံပိုင်း ကျွန်ုပ်တို့၏ဝန်ဆောင်မှု


  • ယခင်-
  • နောက်တစ်ခု: