TaC coated ဂရပ်ဖိုက်လမ်းညွှန်ကွင်းပါးလွှာသောအလွှာ၏ အစစ်ခံခြင်းကို ရည်ညွှန်းသည်။တန်တလမ်ကာဗိုက်၎င်း၏ဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်၊ မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံမှုနှင့်ဓာတုတည်ငြိမ်မှုကိုတိုးတက်စေရန်ဂရပ်ဖိုက်လမ်းညွှန်လက်စွပ်၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင်။ ဤအလွှာကို အများအားဖြင့် ဂရပ်ဖိုက်လမ်းညွှန်လက်စွပ်၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်း (PVD) သို့မဟုတ် ဓာတုအငွေ့ထုတ်ခြင်း (CVD) ကဲ့သို့သော နည်းပညာများဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။
Semicera သည် အစိတ်အပိုင်းများနှင့် သယ်ဆောင်သူများအတွက် အထူးပြု တန်တလမ်ကာဗိုက် (TaC) အပေါ်ယံပိုင်းကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။Semicera ဦးဆောင်သော coating process သည် tantalum carbide (TaC) coatings များကို မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ အပူချိန်မြင့်မားမှုနှင့် ဓာတုခံနိုင်ရည်မြင့်မားမှုကို ရရှိစေရန်၊ SIC/GAN crystals နှင့် EPI အလွှာများ၏ ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးသည် (Graphite coated TaC susceptor) နှင့် အဓိက ဓာတ်ပေါင်းဖို အစိတ်အပိုင်းများ၏ သက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးခြင်း။ tantalum carbide TaC coating ကိုအသုံးပြုခြင်းသည် အစွန်းပြဿနာကိုဖြေရှင်းရန်နှင့် crystal ကြီးထွားမှုအရည်အသွေးကိုတိုးတက်စေရန်ဖြစ်ပြီး Semicera သည် tantalum carbide coating technology (CVD) ကို နိုင်ငံတကာအဆင့်မြင့်အဆင့်သို့ရောက်ရှိအောင်ဖြေရှင်းနိုင်ခဲ့သည်။
နှစ်ပေါင်းများစွာ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ပြီးနောက်၊ Semicera သည် နည်းပညာကို သိမ်းပိုက်နိုင်ခဲ့သည်။CVD TaCR&D ဌာန၏ ပူးပေါင်းကြိုးပမ်းမှုဖြင့်။ SiC wafers ၏ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်တွင်ချို့ယွင်းချက်များဖြစ်ပေါ်ရန်လွယ်ကူသည်၊ သို့သော်အသုံးပြုပြီးနောက်TaCကွာခြားချက်က သိသာပါတယ်။ အောက်တွင်ဖော်ပြထားသော wafers များနှင့် TaC မပါသော wafers များအပြင် တစ်ခုတည်းသော crystal ကြီးထွားမှုအတွက် Simicera ၏အစိတ်အပိုင်းများကို နှိုင်းယှဉ်ထားသည်။
TaC coated graphite guide rings ၏ အဓိကအင်္ဂါရပ်များမှာ-
1. မြင့်မားသောအပူချိန်ခံနိုင်ရည်- TaC coating သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုရှိပြီး မြင့်မားသောအပူချိန်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် တည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းနိုင်သည်။
2. ခံနိုင်ရည်ရှိမှု- တန်တလမ်ကာဗိုက်ပါးလွှာသော အလွှာ၏မြင့်မားသော မာကျောမှုသည် လမ်းညွှန်လက်စွပ်အား ကောင်းမွန်စွာ ဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ၎င်း၏ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးသည်။
3. ဓာတုဗေဒတည်ငြိမ်မှု- TaC အပေါ်ယံပိုင်းသည် ဓာတုသံချေးတက်ခြင်းမှ မြင့်မားသောတည်ငြိမ်မှုရှိပြီး အချို့သော သံချေးတက်သည့်မီဒီယာများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် သင့်လျော်စေသည်။
4. ပွတ်တိုက်မှုကို လျှော့ချပေးသည်- TaC အပေါ်ယံပိုင်းသည် ဂရပ်ဖိုက်လမ်းညွှန်လက်စွပ်နှင့် အခြားအစိတ်အပိုင်းများကြား ပွတ်တိုက်မှုကို ထိရောက်စွာ လျှော့ချနိုင်ပြီး စက်တံဆိပ်များ၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
TaC နှင့် မပါဘဲ
TaC သုံးပြီးနောက် (ညာဘက်)
ထို့အပြင်၊ Semicera ၏TaC-coated ထုတ်ကုန်များဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း ပိုကြာပြီး အပူချိန်မြင့်သော ခံနိုင်ရည်အား ပြသသည်။SiC အပေါ်ယံပိုင်း.ဓါတ်ခွဲခန်း တိုင်းတာမှုများသည် ကျွန်ုပ်တို့၏ သရုပ်ပြမှုဖြစ်သည်။TaC အပေါ်ယံပိုင်းအပူချိန် 2300 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ အချိန်ကြာမြင့်စွာ လုပ်ဆောင်နိုင်သည်။ အောက်တွင် ကျွန်ုပ်တို့၏နမူနာအချို့သည် ဥပမာများဖြစ်သည်။
