Tantalum carbide coated susceptor support platesusceptor သို့မဟုတ် support structure သည် ပါးလွှာသောအလွှာဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသည်။တန်တလမ်ကာဗိုက်. ဤအလွှာသည် susceptor ၏ သာလွန်ကောင်းမွန်သော ဂုဏ်သတ္တိများကို ပေးစွမ်းနိုင်သော ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်း (PVD) သို့မဟုတ် ဓာတုအခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်း (CVD) ကဲ့သို့သော နည်းစနစ်များဖြင့် ခံနိုင်ရည်အား မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ဖွဲ့စည်းနိုင်သည်။တန်တလမ်ကာဗိုက်.
Semicera သည် အစိတ်အပိုင်းများနှင့် သယ်ဆောင်သူများအတွက် အထူးပြု တန်တလမ်ကာဗိုက် (TaC) အပေါ်ယံပိုင်းကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။Semicera ဦးဆောင်သော coating process သည် tantalum carbide (TaC) coatings များကို မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု၊ အပူချိန်မြင့်မားမှုနှင့် ဓာတုခံနိုင်ရည်မြင့်မားမှုကို ရရှိစေရန်၊ SIC/GAN crystals နှင့် EPI အလွှာများ၏ ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးသည် (Graphite coated TaC susceptor) နှင့် အဓိက ဓာတ်ပေါင်းဖို အစိတ်အပိုင်းများ၏ သက်တမ်းကို တိုးမြှင့်ပေးခြင်း။ tantalum carbide TaC coating ကိုအသုံးပြုခြင်းသည် အစွန်းပြဿနာကိုဖြေရှင်းရန်နှင့် crystal ကြီးထွားမှုအရည်အသွေးကိုတိုးတက်စေရန်ဖြစ်ပြီး Semicera သည် tantalum carbide coating technology (CVD) ကို နိုင်ငံတကာအဆင့်မြင့်အဆင့်သို့ရောက်ရှိအောင်ဖြေရှင်းနိုင်ခဲ့သည်။
နှစ်ပေါင်းများစွာ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်ပြီးနောက်၊ Semicera သည် နည်းပညာကို သိမ်းပိုက်နိုင်ခဲ့သည်။CVD TaCR&D ဌာန၏ ပူးပေါင်းကြိုးပမ်းမှုဖြင့်။ SiC wafers ၏ကြီးထွားမှုဖြစ်စဉ်တွင်ချို့ယွင်းချက်များဖြစ်ပေါ်ရန်လွယ်ကူသည်၊ သို့သော်အသုံးပြုပြီးနောက်TaCကွာခြားချက်က သိသာပါတယ်။ အောက်တွင်ဖော်ပြထားသော wafers များနှင့် TaC မပါသော wafers များအပြင် တစ်ခုတည်းသော crystal ကြီးထွားမှုအတွက် Simicera ၏အစိတ်အပိုင်းများကို နှိုင်းယှဉ်ထားသည်။
tantalum carbide coated base support plates ၏ အဓိကအင်္ဂါရပ်များမှာ-
1. မြင့်မားသောအပူချိန်တည်ငြိမ်မှု- Tantalum carbide သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုရှိပြီး မြင့်မားသောအပူချိန် အလုပ်လုပ်သည့်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ပံ့ပိုးမှုလိုအပ်ရန်အတွက် coated base support plate ကို သင့်လျော်စေသည်။
2. Corrosion resistance- Tantalum carbide coating သည် ကောင်းမွန်သော corrosion resistance ရှိပြီး chemical corrosion နှင့် oxidation ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး base ၏ service life ကို တိုးမြှင့်ပေးပါသည်။
3. မြင့်မားသော မာကျောမှုနှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိမှု- တန်တလမ်ကာဘိုက်အလွှာ၏ မြင့်မားသော မာကျောမှုသည် ခံနိုင်ရည်ရှိရန် လိုအပ်သည့်အချိန်အခါများတွင် ခံနိုင်ရည်ရှိရန် အခြေခံအထောက်အပြားကို ကောင်းမွန်စွာ ဝတ်ဆင်နိုင်စေပါသည်။
4. ဓာတုဗေဒတည်ငြိမ်မှု- တန်တလမ်ကာဗိုက်သည် ဓာတုပစ္စည်းအမျိုးမျိုးအတွက် မြင့်မားသောတည်ငြိမ်မှုရှိပြီး၊ coated base support plate သည် အချို့သောအဆိပ်သင့်သောပတ်ဝန်းကျင်များတွင် ကောင်းမွန်စွာလုပ်ဆောင်နိုင်စေသည်။
TaC နှင့် မပါဘဲ
TaC သုံးပြီးနောက် (ညာဘက်)
ထို့အပြင်၊ Semicera ၏TaC-coated ထုတ်ကုန်များဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်း ပိုကြာပြီး အပူချိန်မြင့်သော ခံနိုင်ရည်အား ပြသသည်။SiC အပေါ်ယံပိုင်း.ဓါတ်ခွဲခန်း တိုင်းတာမှုများသည် ကျွန်ုပ်တို့၏ သရုပ်ပြမှုဖြစ်သည်။TaC အပေါ်ယံပိုင်းအချိန်ကြာမြင့်စွာ အပူချိန် 2300 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ ဆက်တိုက်လုပ်ဆောင်နိုင်သည်။ အောက်တွင် ကျွန်ုပ်တို့၏နမူနာအချို့သည် ဥပမာများဖြစ်သည်။
